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N° de publication : WO/2017/169673 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/009844
Date de publication : 05.10.2017 Date de dépôt international : 10.03.2017
CIB :
G12B 5/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
12
DÉTAILS OU PARTIES CONSTITUTIVES DES INSTRUMENTS
B
DÉTAILS OU PARTIES CONSTITUTIVES D'INSTRUMENTS OU DÉTAILS OU PARTIES CONSTITUTIVES COMPARABLES D'AUTRES APPAREILS, NON PRÉVUS AILLEURS
5
Réglage de la position ou de l'attitude, p.ex. niveau d'instruments ou d'autres appareils, ou de leurs parties constitutives; Compensation des effets d'inclinaison ou d'accélération, p.ex. pour appareils d'optique
Déposants : SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.[JP/JP]; 1-1, Osaki 2-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1416025, JP
Inventeurs : YOSHIDA, Tatsuya; JP
Mandataire : MORISHITA Sakaki; JP
Données relatives à la priorité :
2016-06508029.03.2016JP
Titre (EN) STAGE DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ÉTAGE
(JA) ステージ装置
Abrégé :
(EN) This stage device is provided with: a first support part, a second support part, a third support part 13, and a fourth support part that are disposed on a board surface; a first Y-axis guide that is supported by the first support part and the second support part, and extends in a Y-axis direction; a second Y-axis guide 42 that is supported by the third support part 13 and the fourth support part, and is disposed so as to extend in the Y-axis direction; and an X-axis unit, a second Y-axis slider, and a first Y-axis slider that are guided by the first Y-axis guide and the second Y-axis guide 42 so as to move in the Y-axis direction. The third support part 13 supports the second Y-axis guide 42 so as to be movable in the X-axis direction.
(FR) L'invention concerne un dispositif d'étage comprenant : une première partie de support, une deuxième partie de support, une troisième partie de support (13), ainsi qu'une quatrième partie de support disposées sur une surface de planche ; un premier guide d'axe Y soutenu par la première et la deuxième partie de support et s'étendant dans une direction d'axe Y ; un deuxième guide d'axe Y (42) soutenu par la troisième et la quatrième partie de support et disposé de sorte à s'étendre dans la direction d'axe Y ; ainsi qu'une unité d'axe X, un deuxième coulisseau d'axe Y et un premier coulisseau d'axe Y guidés par le premier guide d'axe Y et par le deuxième guide d'axe Y (42) de sorte à se déplacer dans la direction de l'axe Y. La troisième partie de support (13) soutient le deuxième guide d'axe Y (42) de sorte qu'il soit mobile dans la direction de l'axe X.
(JA) ステージ装置は、盤面に配置される第1支持部、第2支持部、第3支持部13および第4支持部と、第1支持部および第2支持部に支持され、Y軸方向に延びる第1Y軸ガイドと、第3支持部13および第4支持部に支持され、Y軸方向に延びるよう設けられる第2Y軸ガイド42と、第1Y軸ガイドおよび第2Y軸ガイド42にガイドされてY軸方向に移動する第1Y軸スライダ、第2Y軸スライダ、およびX軸ユニットと、を備える。第3支持部13は、第2Y軸ガイド42を、X軸方向に変位可能に支持する。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)