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1. (WO2017168909) DISPOSITIF DE MESURE DE QUANTITÉ DE DÉPÔT

Pub. No.:    WO/2017/168909    International Application No.:    PCT/JP2017/000002
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Thu Jan 05 00:59:59 CET 2017
IPC: G01N 21/94
G01N 21/88
Applicants: TORAY ENGINEERING CO., LTD.
東レエンジニアリング株式会社
Inventors: INAKA, Chisa
井中 千草
KITA, Yuki
喜多 由起
TOMOEDA, Satoshi
友枝 哲
Title: DISPOSITIF DE MESURE DE QUANTITÉ DE DÉPÔT
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif apte à obtenir un résultat de mesure hautement précis sans nécessiter un processus de fonctionnement complexe etc., même lorsque les quantités de dépôt de matières déposées dans une région cible d'inspection diffèrent considérablement les unes des autres. Plus précisément, le dispositif de mesure de quantité de dépôt mesure les quantités de dépôt de dépôts déposés dans une région cible d'inspection, et est caractérisé en ce qu'il comprend : une source de lumière qui éclaire la région cible d'inspection au moyen d'une énergie lumineuse ; une unité de détection qui détecte l'énergie libérée qui est libérée par les dépôts déposés dans la région cible d'inspection ; une unité de commutation de condition de détection qui commute une condition de manière à détecter l'énergie lumineuse/l'énergie libérée ; une unité de stockage qui stocke des informations associées destinées à être utilisées dans la mesure de quantités de dépôt ; et une unité de calcul de quantité de dépôt qui calcule une première quantité de dépôt de région et une seconde quantité de dépôt de région sur la base d'images détectées par l'unité de détection sous différentes conditions de détection, et calcule une quantité de dépôt en ajoutant la seconde quantité de dépôt de région à la première quantité de dépôt de région.