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1. (WO2017168797) CIBLE DE PULVÉRISATION EN COMPACT FRITTÉ À BASE D'OXYDE D'INDIUM ET DE ZINC ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Pub. No.:    WO/2017/168797    International Application No.:    PCT/JP2016/080086
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Oct 12 01:59:59 CEST 2016
IPC: C23C 14/34
C04B 35/01
Applicants: JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION
JX金属株式会社
Inventors: KAKENO Takashi
掛野 崇
YAMAGUCHI Yohei
山口 洋平
ENDO Yosuke
遠藤 瑶輔
Title: CIBLE DE PULVÉRISATION EN COMPACT FRITTÉ À BASE D'OXYDE D'INDIUM ET DE ZINC ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abstract:
Cette invention concerne une cible de pulvérisation en compact fritté à base d'oxyde d'indium et d'oxyde de zinc (IZO) qui est caractérisée en ce qu'un oxyde qui constitue la cible est un oxyde composite d'In2O3 et de ZnkIn2Ok+3 (k=3, 4 ou 5) et en ce que la densité relative de la cible est supérieure ou égale à 98,4 %. L'invention vise à accroître la densité d'un compact fritté à base d'IZO et à réduire le nombre de petits trous (micropores) restant entre les grains cristallins de façon à améliorer la qualité d'un film formé.