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1. (WO2017168745) DISPOSITIF DE FORMATION DE CONDUCTEUR ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CONDUCTEUR

Pub. No.:    WO/2017/168745    International Application No.:    PCT/JP2016/060872
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Sat Apr 02 01:59:59 CEST 2016
IPC: H05K 3/18
Applicants: CHEMITRON INC.
株式会社ケミトロン
Inventors: FUJIKAWA, Osamu
藤川 治
NAKAYAMA, Yoshio
中山 義夫
AKIYAMA, Masanori
秋山 政憲
AKIMOTO, Yutaka
秋元 豊
Title: DISPOSITIF DE FORMATION DE CONDUCTEUR ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CONDUCTEUR
Abstract:
Un dispositif de transport 11 transporte en continu une base 1 suivant une orientation sensiblement verticale au moins dans la plage allant d'un dispositif de développement 12 à un dispositif de dépôt de motifs 13 dans la zone globale d'un trajet de transport 20 allant du dispositif de développement 12 jusqu'à un dispositif de gravure 15 en passant par le dispositif de dépôt de motifs 13 et un dispositif de pelage 14.