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1. (WO2017168711) ÉLÉMENT D'IMAGERIE, SYSTÈME D'IMAGERIE, ET PROCÉDÉ D'IMAGERIE

Pub. No.:    WO/2017/168711    International Application No.:    PCT/JP2016/060789
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Fri Apr 01 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01J 1/42
G01J 1/44
G01N 21/17
H01L 27/144
H04N 5/225
H04N 5/3745
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: FUNAMIZU Wataru
船水 航
ODATE Satoru
大舘 暁
TEZUKA Yojiro
手塚 洋二郎
TAKAGI Toru
高木 徹
NAKANISHI Sota
中西 奏太
Title: ÉLÉMENT D'IMAGERIE, SYSTÈME D'IMAGERIE, ET PROCÉDÉ D'IMAGERIE
Abstract:
L'invention concerne un élément d'imagerie comportant : une unité de réception de lumière ayant une pluralité de pixels pour délivrer en sortie un signal de réception de lumière correspondant à une quantité de réception de lumière d'une lumière reçue ; et une unité de détection prévue pour chacun des blocs de pixels comprenant un pixel ou une pluralité de pixels, l'unité de détection permettant d'effectuer une détection hétérodyne d'un signal de réception de lumière délivré en sortie à partir d'un pixel inclus dans le bloc de pixels correspondant, la détection hétérodyne étant effectuée à une fréquence de référence déterminée en fonction d'une composante de fréquence de modulation d'intensité de la lumière reçue. L'invention concerne également un système d'imagerie comportant l'élément d'imagerie et une source de lumière pour émettre une lumière d'irradiation, la lumière d'irradiation ayant un motif dans lequel la puissance/la faiblesse de la lumière est périodiquement modulée dans chacune d'une première direction et d'une deuxième direction différente de la première direction, vers un sujet tout en déplaçant le motif dans une troisième direction différente de la première direction et de la deuxième direction, l'unité de détection effectuant une détection hétérodyne d'un signal de réception de lumière à une fréquence de référence déterminée en fonction d'une composante de fréquence sur la base d'une période de puissance/faiblesse de la lumière pour chacune de la première direction et de la seconde direction.