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1. (WO2017168630) DISPOSITIF D'INSPECTION DE DÉFAUTS ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE DÉFAUTS

Pub. No.:    WO/2017/168630    International Application No.:    PCT/JP2016/060375
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Thu Mar 31 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01N 21/88
G01N 21/956
H01L 21/66
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社日立ハイテクノロジーズ
Inventors: HONDA Toshifumi
本田 敏文
URANO Takahiro
浦野 貴裕
KOBAYASHI Mamoru
小林 司
HATANO Hisashi
波多野 央
SAKURAI Hironori
櫻井 洋憲
Title: DISPOSITIF D'INSPECTION DE DÉFAUTS ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE DÉFAUTS
Abstract:
Le but de la présente invention est de fournir une technologie d'inspection de défauts qui permet de définir des paramètres utilisés pour la détection de défauts comportant une faible charge sur un utilisateur. Un dispositif d'inspection de défauts selon la présente invention reçoit une pluralité de valeurs de référence entrées par un utilisateur et calcule des conditions d'extraction de défaut de telle sorte qu'une valeur d'évaluation calculée à l'aide de la valeur de référence, d'un comptage vrai, et d'un comptage faux, est optimale.