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1. (WO2017168584) APPAREIL LASER ET SYSTÈME DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE DANS L'EXTRÊME ULTRAVIOLET

Pub. No.:    WO/2017/168584    International Application No.:    PCT/JP2016/060214
Publication Date: 5 oct. 2017 International Filing Date: 29 mars 2016
IPC: H01S 3/131
H01S 3/0941
H01S 3/227
H01S 5/068
Applicants: GIGAPHOTON INC.
ギガフォトン株式会社
Inventors: NOGIWA Seiji
野極 誠二
KAWASUJI Yasufumi
川筋 康文
Title: APPAREIL LASER ET SYSTÈME DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE DANS L'EXTRÊME ULTRAVIOLET
Abstract:
Cette invention concerne un appareil laser comprenant : une source de lumière pour émettre une lumière d'excitation ; un résonateur optique dont un milieu laser interne est excité par la lumière d'excitation et qui émet une lumière laser ; une unité de réglage de température pour régler la température de la source de lumière à une température de référence ; une unité de détection de lumière pour détecter la sortie de la lumière laser ; et une unité de commande pour modifier la température de référence sur la base de la sortie de la lumière laser détectée.