Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2017168373) DISPOSITIF DE MICROPOUTRE DE SYSTÈME MICROÉLECTROMÉCANIQUE (MEMS) ACTIF POUR DÉTECTION DE GAZ

Pub. No.:    WO/2017/168373    International Application No.:    PCT/IB2017/051837
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Fri Mar 31 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01N 29/02
G01N 29/036
G01N 5/02
Applicants: KING ABDULLAH UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
Inventors: BOUCHAALA, Adam
JABER, Nizar
YOUNIS, Mohammad
Title: DISPOSITIF DE MICROPOUTRE DE SYSTÈME MICROÉLECTROMÉCANIQUE (MEMS) ACTIF POUR DÉTECTION DE GAZ
Abstract:
L'invention concerne des capteurs et des commutateurs actifs pour des applications en détection de gaz et d'autres domaines. Les dispositifs sont basés sur le ramollissement et le durcissement de comportements de réponse non linéaire de micropoutres fixées-fixées de systèmes microélectromécaniques (MEMS). Dans ce contexte, des modes de réalisation de capteurs et de commutateurs à micropoutre de MEMS déclenchés par gaz sont décrits. Les dispositifs à micropoutres peuvent être revêtus d'une structure organométallique pour obtenir une sensibilité élevée. Pour la détection de gaz, un algorithme de suivi basé sur l'amplitude peut être utilisé pour quantifier une quantité de gaz capturée par les dispositifs selon un décalage en fréquence. Une analyse de bruit est également effectuée selon les modes de réalisation, qui montre que les dispositifs à micropoutres ont une stabilité élevée vis-à-vis du bruit thermique. Les dispositifs à micropoutres sont également appropriés pour la génération d'informations de détection binaires pour une alarme, par exemple.