Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2017168055) DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES STABLES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2017/168055 N° de la demande internationale : PCT/FI2017/050230
Date de publication : 05.10.2017 Date de dépôt international : 31.03.2017
CIB :
B81B 3/00 (2006.01) ,B81C 1/00 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
B
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3
Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
C
PROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
1
Fabrication ou traitement de dispositifs ou de systèmes dans ou sur un substrat
Déposants :
TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY [FI/FI]; Vuorimiehentie 3 02150 Espoo, FI
Inventeurs :
JAAKKOLA, Antti; FI
PENSALA, Tuomas; FI
PRUNNILA, Mika; FI
PEKKO, Panu; FI
KIIHAMÄKI, Jyrki; FI
OJA, Aarne; FI
Mandataire :
KOLSTER OY AB; (Salmisaarenaukio 1) P.O.Box 204 00181 Helsinki, FI
Données relatives à la priorité :
2016527901.04.2016FI
Titre (EN) STABILE MICROMECHANICAL DEVICES
(FR) DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES STABLES
Abrégé :
(EN) The invention provides a micromechanical device comprising a support structure and a deflecting element connected to the support structure, wherein the deflecting element comprises at least one deformable member adapted to deform extensionally, flexurally or torsionally with respect to a deformation axis for allowing deflection of the deflecting element with respect to the support structure. Further, there are means for statically deflecting the deflecting element or detecting the magnitude of static deflection of the deflecting element. According to the invention, the deformable member is made of silicon doped with an n-type doping agent to a doping concentration of at least 1.1*1020cm-3. The invention allows for manufacturing micromechanical devices whose mechanical operation is not affected by prevailing temperature conditions.
(FR) L'invention concerne un dispositif micromécanique comprenant une structure support et un élément de déviation relié à la structure support. L'élément de déviation comprend au moins un élément déformable adapté pour se déformer en extension, en flexion ou en torsion par rapport à un axe de déformation afin de permettre une déviation de l'élément de déviation par rapport à la structure support. De plus, il existe des moyens destinés à effectuer une déviation statique de l'élément de déviation ou à détecter l'amplitude de la déviation statique de l'élément de déviation. Selon l'invention, l'élément déformable est constitué de silicium dopé avec un agent de dopage de type N à une concentration de dopage d'au moins 1,1*1020cm-3. L'invention permet de fabriquer des dispositifs micromécaniques dont le fonctionnement mécanique n'est pas affecté par les conditions de température dominantes.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)