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1. (WO2017167573) PROCEDE ET SYSTEME D'INSPECTION PAR EFFET DOPPLER LASER DE PLAQUETTES POUR LA MICROELECTRONIQUE OU L'OPTIQUE

Pub. No.:    WO/2017/167573    International Application No.:    PCT/EP2017/055967
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Mar 15 00:59:59 CET 2017
IPC: G01N 21/95
Applicants: UNITY SEMICONDUCTOR
Inventors: GASTALDO, Philippe
DURAND DE GEVIGNEY, Mayeul
COMBIER, Tristan
Title: PROCEDE ET SYSTEME D'INSPECTION PAR EFFET DOPPLER LASER DE PLAQUETTES POUR LA MICROELECTRONIQUE OU L'OPTIQUE
Abstract:
L'invention concerne un procédé d'inspection d'une plaquette (2) pour l'électronique, l'optique ou l'optoélectronique, comprenant : la mise en rotation de la plaquette (2) autour d'un axe de symétrie (X) perpendiculaire à une surface principale (S) de ladite plaquette, l'émission, à partir d'une source lumineuse (20) couplée à un dispositif interférométrique (30), de deux faisceaux lumineux incidents de sorte à former, à l'intersection entre les deux faisceaux, un volume de mesure (V) contenant des franges d'interférences, la collecte d'au moins une partie de la lumière diffusée par ladite région de la plaquette, l'acquisition de la lumière collectée et l'émission d'un signal électrique représentant la variation de l'intensité lumineuse de la lumière collectée en fonction du temps, la détection, dans ledit signal, d'une composante fréquentielle dans ladite lumière collectée, ladite fréquence étant la signature temporelle du passage d'un défaut dans le volume de mesure.