WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2017167259) DISPOSITIF OBTURATEUR UTILISÉ À DES FINS D'EXPOSITION DANS UNE MACHINE DE LITHOGRAPHIE, ET SON PROCÉDÉ D'UTILISATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2017/167259    N° de la demande internationale :    PCT/CN2017/078936
Date de publication : 05.10.2017 Date de dépôt international : 31.03.2017
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD. [CN/CN]; 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203 (CN)
Inventeurs : CHEN, Menglai; (CN).
ZHANG, Fuping; (CN)
Mandataire : SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335 (CN)
Données relatives à la priorité :
201610200735.8 31.03.2016 CN
Titre (EN) SHUTTER DEVICE USED FOR EXPOSURE IN LITHOGRAPHY MACHINE, AND METHOD FOR USE THEREOF
(FR) DISPOSITIF OBTURATEUR UTILISÉ À DES FINS D'EXPOSITION DANS UNE MACHINE DE LITHOGRAPHIE, ET SON PROCÉDÉ D'UTILISATION
(ZH) 一种用于光刻机曝光的快门装置及其使用方法
Abrégé : front page image
(EN)Provided are a shutter device used for exposure in a lithography machine, and a method thereof; the device comprises a shutter blade (1), a rotation motor (2) for driving the shutter blade (1) to rotate, a controller electrically connected to the rotation motor (2), and a base (3) used for supporting the rotation motor (2); the shutter blade (1) comprises a center of rotation (11) and at least one open region (12) and covered region (13) arranged corresponding to the center of rotation (11); the center of rotation (11) is connected to the rotation motor (2), and the rotation motor (2) drives the shutter blade (1) to rotate and thus open and close the shutter, so as to form an exposed region and a non-exposed region. A hollow part (131) is provided in the covered region (13), lightening the mass of the shutter blade (1) and improving control over the shutter blade (1) during rotation; by means of the control of the controller, the shutter is opened and closed during the uniform-speed stage of motion of the shutter blade (1); the processes of acceleration and deceleration of the shutter blade (1) are set to take place during a stage of the closing of the shutter in which time and travel distance are ample, decreasing the torque requirement of the rotation motor (2) and effectively shortening the time to open and close the shutter.
(FR)L'invention concerne un dispositif obturateur utilisé à des fins d'exposition dans une machine de lithographie, et un procédé associé ; le dispositif comprend une lame d'obturateur (1), un moteur de mise en rotation (2) pour entraîner la lame d'obturateur (1) en rotation, un dispositif de commande connecté électriquement au moteur de mise en rotation (2), et une embase (3) utilisée comme support du moteur de mise en rotation (2) ; la lame d'obturateur (1) comprend un centre de rotation (11) et au moins une région ouverte (12) et une région couverte (13) agencées en correspondance avec le centre de rotation (11) ; le centre de rotation (11) est relié au moteur de mise en rotation (2), et le moteur de mise en rotation (2) entraîne la lame d'obturateur (1) en rotation et a ainsi pour effet d'ouvrir et de fermer l'obturateur, de façon à former une région exposée et une région non exposée. Une partie creuse (131) est disposée dans la région couverte (13), allégeant ainsi la masse de la lame d'obturateur (1) et améliorant la manière dont la lame d'obturateur (1) est commandée pendant la rotation ; la commande effectuée par le dispositif de commande permet d'ouvrir et de fermer l'obturateur pendant l'étape de mouvement à vitesse uniforme de la lame d'obturateur (1) ; les processus d'accélération et de décélération de la lame d'obturateur (1) sont réglés pour se dérouler pendant une étape de la fermeture de l'obturateur lors de laquelle le temps et la distance de déplacement sont importants, cela permettant de réduire le couple exigé du moteur de mise en rotation (2) et de réduire efficacement le temps d'ouverture et de fermeture de l'obturateur.
(ZH)一种用于光刻机曝光的快门装置及其方法,该装置包括快门叶片(1)、驱动快门叶片(1)旋转的旋转电机(2)、与旋转电机(2)电联接的控制器和用于支撑旋转电机(2)的底座(3),快门叶片(1)包括一旋转中心(11),以及对应旋转中心(11)设置的至少一开口区域(12)和遮蔽区域(13),旋转中心(11)连接至旋转电机(2),旋转电机(2)带动快门叶片(1)旋转完成快门的开闭动作,以形成曝光区域和非曝光区域。通过在遮蔽区域(13)中设置镂空部分(131),减轻了快门叶片(1)的质量,提高对快门叶片(1)旋转过程中的控制效果,通过控制器的控制作用,将快门的开闭过程设于快门叶片(1)的匀速运动的阶段,将快门叶片(1)的加速和减速过程设于时间和行程都较为宽裕的快门关闭阶段,降低了对旋转电机(2)的转矩的要求,有效缩短了快门的开闭时间。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)