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1. (WO2017166737) DISPOSITIF DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE FILM

Pub. No.:    WO/2017/166737    International Application No.:    PCT/CN2016/099939
Publication Date: Fri Oct 06 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Sat Sep 24 01:59:59 CEST 2016
IPC: G01B 7/06
G07D 7/164
Applicants: WEIHAI HUALING OPTO-ELECTRONICS CO., LTD.
威海华菱光电股份有限公司
Inventors: LIN, Yonghui
林永辉
DAI, Pengfei
戴朋飞
HAN, Xiaowei
韩晓伟
Title: DISPOSITIF DE MESURE D'ÉPAISSEUR DE FILM
Abstract:
L'invention concerne un dispositif de mesure d'épaisseur de film qui comprend au moins une électrode commune (100) et au moins une puce de mesure. Chaque puce de mesure comprend : un réseau d'électrodes de mesure (1), qui comprend une pluralité d'électrodes de mesure (11) et qui est agencé à l'opposé de l'électrode commune (100) et à des intervalles par rapport à cette dernière dans une première direction; une unité de réinitialisation, électriquement connectée aux électrodes de mesure (11) dans le réseau d'électrodes de mesure (1) et utilisée pour réinitialiser des signaux électriques des électrodes de mesure; une unité d'amplification initiale (30), électriquement connectée aux électrodes de détection (11) et utilisée pour amplifier les signaux électriques; une unité de commande de déplacement (4), électriquement connectée à l'unité d'amplification initiale (30) et utilisée pour commander une séquence de sortie des signaux électriques; un bus de bit de balayage (01), comprenant une pluralité de points de connexion de balayage, un point de connexion de balayage étant électriquement connecté à l'unité de commande de déplacement (4); et une unité de commande logique, utilisée pour recevoir un signal d'entrée externe, générer un signal de commande pour commander la puce de mesure, et délivrer en sortie un signal de détection. Le dispositif de mesure a une grande précision de mesure.