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1. (WO2017146385) DISPOSITIF DE NETTOYAGE AU LASER ET PROCÉDÉ D'ÉLIMINATION DE POLLUANTS D'UNE ÉLECTRODE DE SPECTROMÈTRE DE MASSE

Pub. No.:    WO/2017/146385    International Application No.:    PCT/KR2017/000937
Publication Date: Fri Sep 01 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Fri Jan 27 00:59:59 CET 2017
IPC: B08B 7/00
H01S 3/00
B08B 1/02
Applicants: KOREA RESEARCH INSTITUTE OF STANDARDS AND SCIENCE
한국표준과학연구원
Inventors: LEE, Jae-Yong
이재용
KIM, Jong-Ahn
김종안
LEE, Eun-Seong
이은성
LEE, Sang-Won
이상원
Title: DISPOSITIF DE NETTOYAGE AU LASER ET PROCÉDÉ D'ÉLIMINATION DE POLLUANTS D'UNE ÉLECTRODE DE SPECTROMÈTRE DE MASSE
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif nettoyage au laser d'un spectromètre de masse et un procédé de nettoyage associé. Le dispositif de nettoyage au laser d'un spectromètre de masse comprend : un étage de translation pour un balayage bidimensionnel ; une partie optique réfléchissante montée sur l'étage de translation ; une source de lumière laser pour émettre un faisceau de nettoyage au laser au niveau de la partie optique réfléchissante ; et un diaphragme d'électrode d'extraction ionique présentant un trou central en son centre et des trous d'accès pour le faisceau laser à travers lesquels le faisceau de nettoyage au laser passe et étant émis par le faisceau de nettoyage au laser réfléchi par la partie optique réfléchissante. Le faisceau de nettoyage au laser est acheminé vers la partie optique réfléchissante par passage à travers le trou d'accès pour le faisceau laser formé dans le diaphragme d'électrode d'extraction ionique, qui est pollué, et le faisceau de nettoyage au laser réfléchi est émis au niveau du diaphragme d'électrode d'extraction ionique et le nettoie.