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1. (WO2017146300) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE CORRECTION DE POSITION DE MARQUAGE

Pub. No.:    WO/2017/146300    International Application No.:    PCT/KR2016/004390
Publication Date: Fri Sep 01 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Thu Apr 28 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 23/544
H01L 21/268
H01L 21/66
H01L 21/67
H01L 21/68
Applicants: EO TECHNICS CO., LTD.
주식회사 이오테크닉스
Inventors: CHOI, Sang Chul
최상철
CHOI, Young Jun
최영준
KIM, Soo Young
김수영
Title: DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE CORRECTION DE POSITION DE MARQUAGE
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif de correction de position de marquage et un procédé de correction de position de marquage dans lesquels, avant que des puces à semi-conducteurs disposées sur une tranche ne soient soumises à un processus de marquage, des positions marquées sont mesurées et corrigées à l'aide d'un écran formé sur une surface d'un substrat transparent de telle sorte que des marquages peuvent être réalisés dans des positions correctes sur la puce à semi-conducteurs. En outre, la position dans laquelle un faisceau laser est détecté et la position d'un point de marquage formé sur l'écran par le faisceau laser peuvent différer l'une de l'autre en raison de l'indice de réfraction du substrat transparent, mais l'indice de réfraction du substrat transparent est compensé, selon la présente invention, lors du calcul de la position du point de marquage, permettant ainsi de rendre la correction de la position de marquage précise. Un dispositif de correction de position de marquage selon un mode de réalisation de la présente invention est un dispositif de correction de position de marquage pour corriger la position de marquage sur une tranche, comprenant : un élément de correction de position comprenant un substrat transparent et un écran disposé sur l'écran transparent; une tête laser pour émettre un faisceau laser vers l'écran et former un point de marquage; une caméra de vision pour acquérir des informations concernant la position d'un point de détection formé lorsque le faisceau laser passe à travers l'écran et le substrat transparent; une unité de calcul pour calculer des informations concernant la position du point de marquage à l'aide des informations concernant la position du point de détection acquises par la caméra de vision; et une unité de commande pour comparer et mettre en correspondance les informations concernant la position du point de marquage et des informations concernant la position de marquage réglée sur la tête laser.