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1. (WO2017146252) ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET APPAREIL DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
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N° de publication : WO/2017/146252 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/007362
Date de publication : 31.08.2017 Date de dépôt international : 27.02.2017
CIB :
B25J 9/06 (2006.01) ,B65G 49/07 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25
OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
J
MANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
9
Manipulateurs à commande programmée
06
caractérisés par des bras à articulations multiples
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65
MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
G
DISPOSITIFS DE TRANSPORT OU D'EMMAGASINAGE, p.ex. TRANSPORTEURS POUR CHARGEMENT OU BASCULEMENT, SYSTÈMES TRANSPORTEURS POUR MAGASINS OU TRANSPORTEURS PNEUMATIQUES À TUBES
49
Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs
05
pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables
07
pour des plaquettes semi-conductrices
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
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Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677
pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
Déposants :
川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 兵庫県神戸市中央区東川崎町3丁目1番1号 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670, JP
Inventeurs :
芝田 武士 SHIBATA Takeshi; JP
Mandataire :
名塚 聡 NAZUKA Satoshi; JP
井上 満 INOUE Mitsuru; JP
Données relatives à la priorité :
2016-03642126.02.2016JP
Titre (EN) SUBSTRATE CONVEYANCE ROBOT AND SUBSTRATE CONVEYANCE APPARATUS
(FR) ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET APPAREIL DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送ロボットおよび基板搬送装置
Abrégé :
(EN) This robot is provided with: a lifting drive mechanism (1) that raises and lowers a robot arm having an end effector for holding a substrate; and a cover means for covering the lifting drive mechanism (1). The lifting drive mechanism (1) has: a fixing part (2) that has a guide rail (10) extending in the vertical direction; and a lifting part (3) that is vertically driven along the guide rail (10). The robot arm has a base link (4) coupled to the lifting part (3) and a link member coupled to the base link (4). The cover means has: a fixing-side cover (20) which is provided to the fixing part (2), and inside which the lifting part (3) is moved; and a guiderail cover (19) which is provided to the lifting part (3), and which covers the upper part of the guiderail (10) that is exposed when the lifting part (3) is lowered. The present invention is able to provide a substrate conveyance robot which enables reduction in the size of a substrate conveyance apparatus without causing any inconveniences, such as degradation in rigidity of a robot arm.
(FR) La présente invention concerne un robot pourvu de : un mécanisme d’entraînement de levage (1) qui lève et abaisse un bras de robot comportant un effecteur d’extrémité pour maintenir un substrat ; et un moyen de couverture pour recouvrir le mécanisme d’entraînement de levage (1). Le mécanisme d’entraînement de levage (1) comporte : une partie de fixation (2) qui comporte un rail de guidage (10) s’étendant dans la direction verticale ; et une partie de levage (3) qui est verticalement entraînée le long du rail de guidage (10). Le bras de robot comporte une liaison de base (4) couplée à la partie de levage (3) et un élément de liaison couplé à la liaison de base (4). Le moyen de couverture comporte : un couvercle côté fixation (20) qui est disposé sur la partie de fixation (2), et à l’intérieur duquel la partie de levage (3) est déplacée ; et un couvercle de rail de guidage (19) qui est disposé sur la partie de levage (3), et qui recouvre la partie supérieure du rail de guidage (10) qui est exposée lorsque la partie de levage (3) est abaissée. La présente invention permet de fournir un robot de transport de substrat qui permet une réduction de la taille d’un appareil de transport de substrat sans causer d’inconvénients, tels qu’une dégradation de la rigidité d’un bras de robot.
(JA) このロボットは、基板を保持するエンドエフェクタを有するロボットアームを昇降させる昇降駆動機構(1)と、昇降駆動機構(1)を覆うカバー手段とを備え、昇降駆動機構(1)は、上下方向に延在するガイドレール(10)を有する固定部(2)と、ガイドレール(10)に沿って昇降駆動される昇降部(3)とを有し、ロボットアームは、昇降部(3)に連結された基部リンク(4)と、基部リンク(4)に連結されたリンク部材と、を有し、カバー手段は、固定部(2)に設けられ、昇降部(3)がその内部を移動する固定側カバー(20)と、昇降部(3)に設けられ、昇降部(3)が下降した際に露出するガイドレール(10)の上部を覆うガイドレール用カバー(19)とを有する。ロボットアームの剛性の低下などの不都合を伴うことなく、基板搬送装置の小型化が可能な基板搬送ロボットを提供できる。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)