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1. (WO2017146204) DISPOSITIF À VIDE
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N° de publication : WO/2017/146204 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/007066
Date de publication : 31.08.2017 Date de dépôt international : 24.02.2017
CIB :
H01L 21/677 (2006.01) ,C23C 14/56 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
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Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
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Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
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pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
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Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
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caractérisé par le procédé de revêtement
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Appareillage spécialement adapté au revêtement en continu; Dispositifs pour maintenir le vide, p.ex. fermeture étanche
Déposants :
株式会社アルバック ULVAC, INC. [JP/JP]; 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500 2500, Hagisono, Chigasaki-shi, Kanagawa 2538543, JP
Inventeurs :
中尾 裕利 NAKAO Hirotoshi; JP
Mandataire :
石島 茂男 ISHIJIMA Shigeo; JP
阿部 英樹 ABE Hideki; JP
Données relatives à la priorité :
2016-03435125.02.2016JP
Titre (EN) VACUUM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À VIDE
(JA) 真空装置
Abrégé :
(EN) The present invention supports atmospheric pressure with a minor force. When an inner inlet/outlet port 13 is air-tightly closed by an inner lid member 17, a force to move a moving-side link member 41 to a fixed member 30 side along a guide shaft 28 by atmospheric pressure applied to the inner lid member 17 is supported by aligning the moving-side link member 41 and a fixed-side link member 42. In a case in which a common rotational axis 33 connecting the moving-side link member 41 and the fixed-side link member 42 is slightly separated from a slider-side plane 46 where a moving-side rotational axis 31 and a fixed-side rotational axis 32 are located, the closure of the inner inlet/outlet port 13 by the inner lid member 17 can be maintained with a minor force.
(FR) La présente invention soutient la pression atmosphérique avec une faible force. Lorsqu'un orifice d'entrée/sortie intérieur (13) est fermé de manière hermétique à l'air par un élément de couvercle intérieur (17), une force qui pourrait déplacer un élément de liaison côté mobile (41) vers un côté élément fixe (30) le long d'un arbre de guidage (28) par la pression atmosphérique appliquée sur l'élément de couvercle intérieur (17) est soutenue par alignement de l'élément de liaison côté mobile (41) et d'un élément de liaison côté fixe (42). Dans le cas où un axe de rotation commun (33) reliant l'élément de liaison côté mobile (41) et l'élément de liaison côté fixe (42) est faiblement séparé d'un plan côté coulisseau (46) dans lequel sont compris un axe de rotation côté mobile (31) et un axe de rotation côté fixe (32), la fermeture de l'orifice d'entrée/sortie intérieur (13) par l'élément de couvercle intérieur (17) peut être maintenue avec une faible force.
(JA) 小さな力で大気圧を支持する。内部搬出入口13を内部蓋部材17で気密に閉塞させているときに、内部蓋部材17に印加される大気圧によって、案内軸28に沿って、移動側リンク部材41を固定部材30側に移動させようとする力を、移動側リンク部材41と固定側リンク部材42とを一直線にすることで支持する。移動側リンク部材41と固定側リンク部材42とを接続する共通回転軸線33が、移動側回転軸線31と固定側回転軸線32とが位置するスライダー側平面46から少し離間していた場合は小さな力で、内部蓋部材17による内部搬出入口13の閉塞を維持することが出来る。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)