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1. (WO2017145986) MAIN DE PRÉHENSILE POUR SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
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N° de publication : WO/2017/145986 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/006137
Date de publication : 31.08.2017 Date de dépôt international : 20.02.2017
CIB :
H01L 21/677 (2006.01) ,B25J 15/08 (2006.01) ,B65G 49/07 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677
pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25
OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
J
MANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
15
Têtes de préhension
08
avec des éléments en forme de doigts
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65
MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
G
DISPOSITIFS DE TRANSPORT OU D'EMMAGASINAGE, p.ex. TRANSPORTEURS POUR CHARGEMENT OU BASCULEMENT, SYSTÈMES TRANSPORTEURS POUR MAGASINS OU TRANSPORTEURS PNEUMATIQUES À TUBES
49
Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs
05
pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables
07
pour des plaquettes semi-conductrices
Déposants :
川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 兵庫県神戸市中央区東川崎町3丁目1番1号 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670, JP
Inventeurs :
福島 崇行 FUKUSHIMA, Takayuki; --
Mandataire :
特許業務法人 有古特許事務所 PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 兵庫県神戸市中央区東町123番地の1 貿易ビル3階 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031, JP
Données relatives à la priorité :
2016-03603426.02.2016JP
Titre (EN) SUBSTRATE GRIPPING HAND AND SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE
(FR) MAIN DE PRÉHENSILE POUR SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板把持ハンド及び基板搬送装置
Abrégé :
(EN) A substrate gripping hand is provided with: a base plate wherein a center line and gripping position are prescribed; at least one fixed claw capable of mating with an edge of a substrate in the gripping position and provided at a tip end side of the base plate; a movable claw having an acting part that can act on an edge of the substrate in the gripping position and movable back-and-forth on the center line more to the base end side than the gripping position; a pusher having an acting part that can act on an edge lower than the center of the substrate in a perpendicular orientation and movable back-and-forth parallel with the center line more to the base end side than the gripping position; and an actuator for moving the movable claw and pusher back-and-forth as a unit. The pusher acting part is positioned more to the tip end side than the acting part of the movable claw such that the substrate is grasped by joint operation of the forward moving movable claw and the fixed claw after the substrate is brought to the gripping position by the pusher moving forward toward the tip end side.
(FR) La présente invention porte sur une main préhensile pour substrat qui est pourvue : d'une plaque de base dans laquelle une ligne centrale et une position de préhension sont prescrites ; d'au moins une pince fixe pouvant s'accoupler avec un bord d'un substrat dans la position de préhension et disposée au niveau d'un côté extrémité de pointe de la plaque de base ; d'une pince mobile ayant une partie d'actionnement peut agir sur un bord du substrat dans la position de préhension et mobile en va-et-vient sur la ligne centrale plus vers le côté extrémité de base que la position de préhension ; d'un poussoir ayant une partie d'actionnement qui peut agir sur un bord plus bas que le centre du substrat dans une orientation perpendiculaire et mobile en va-et-vient parallèlement à la ligne centrale plus vers le côté extrémité de base que la position de préhension ; et d'un actionneur permettant de déplacer la pince mobile et le poussoir en va-et-vient en tant qu'unité. La partie d'actionnement de poussoir est positionnée davantage du côté extrémité de pointe que la partie d'actionnement de la pince mobile de telle sorte que le substrat est saisi par une opération conjointe de la pince mobile, mobile vers l'avant et de la pince fixe après que le substrat est amené vers la position de préhension par le poussoir se déplaçant vers l'avant vers le côté extrémité de pointe.
(JA) 基板把持ハンドは、中心線と把持位置とが規定されたベース板と、把持位置にある基板の縁と係合可能な、ベース板の先端側に設けられた少なくとも1つの固定爪と、把持位置にある基板の縁に作用可能な作用部を有し、把持位置よりも基端側において中心線上を往復移動する可動爪と、垂直姿勢の基板の中心よりも下方の縁に作用可能な作用部を有し、把持位置よりも基端側において中心線と平行に往復移動するプッシャと、可動爪及びプッシャを一体的に往復移動させるアクチュエータとを備える。先端側へ往動するプッシャで基板が把持位置まで持ち上げられてから、往動する可動爪及び固定爪の協動により基板が把持されるように、プッシャの作用部が可動爪の作用部よりも先端側に位置する。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)