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1. (WO2017145855) APPAREIL D'ÉTAGE
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N° de publication : WO/2017/145855 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/005237
Date de publication : 31.08.2017 Date de dépôt international : 14.02.2017
CIB :
G03F 7/20 (2006.01) ,G05D 3/00 (2006.01) ,G05D 3/12 (2006.01) ,H01L 21/68 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
G PHYSIQUE
05
COMMANDE; RÉGULATION
D
SYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION DES VARIABLES NON ÉLECTRIQUES
3
Commande de la position ou de la direction
G PHYSIQUE
05
COMMANDE; RÉGULATION
D
SYSTÈMES DE COMMANDE OU DE RÉGULATION DES VARIABLES NON ÉLECTRIQUES
3
Commande de la position ou de la direction
12
utilisant la contre-réaction
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
68
pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
Déposants :
ウシオ電機株式会社 USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内一丁目6番5号 1-6-5, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1008150, JP
Inventeurs :
野本 憲太郎 NOMOTO Kentaro; JP
Mandataire :
保立浩一 HOTATE Koichi; JP
Données relatives à la priorité :
2016-03139022.02.2016JP
Titre (EN) STAGE APPARATUS
(FR) APPAREIL D'ÉTAGE
(JA) ステージ装置
Abrégé :
(EN) [Problem] To provide a stage apparatus with a structure where a mechanism of ɵ direction movement is added without inviting a rising of a center of gravity, so that it is possible to adjust the posture in the θ direction and to perform position control of the stage with high accuracy. [Solution] A stage 1 is loaded on an X direction slider 23 that is guided by an X direction guide 21 provided to extend over a pair of Y direction sliders 33, 34 guided by a pair of Y direction guides 31, 32 that extend in parallel in the Y direction, the stage 1 being movable in the XY directions. One Y direction slider 31 is connected to the X direction guide 21 via a hinge 81. The pair of Y direction sliders 31, 32, by moving in the mutually opposite directions in the Y direction, allows the integral θ direction movement of the X direction guide 21, X direction slider 23, and the stage 1. The other Y direction guide 32 is a flat guide and the other Y direction slider 34 is displaceable in the X direction.
(FR) La présente invention vise à fournir un appareil d'étage avec une structure où un mécanisme de mouvement de direction θ est ajouté sans provoquer une élévation d'un centre de gravité, de sorte qu'il soit possible d'ajuster la posture dans la direction θ et d'effectuer une commande de position de l'étage avec une grande précision. À cet effet, l'invention concerne un étage 1 chargé sur un coulisseau de direction X 23 qui est guidé par un guide de direction X 21 prévu pour s'étendre sur une paire de coulisseaux de direction Y 33, 34 guidés par une paire de guides de direction Y 31, 32 qui s'étendent en parallèle dans la direction Y, l'étage 1 étant mobile dans les directions XY. Un coulisseau de direction Y 31 est relié au guide de direction X 21 à travers une charnière 81. La paire de coulisseaux de direction Y 31, 32, en se déplaçant dans les directions mutuellement opposées dans la direction Y, permet le déplacement intégral de direction θ du guide de direction X 21, du coulisseau de direction X 23, et de l'étage 1. L'autre guide de direction Y 32 est un guide plat et l'autre coulisseau de direction Y 34 est déplaçable dans la direction X.
(JA) 【課題】 高重心化を招かずにθ方向移動の機構が追加された構造のステージ装置を提供し、θ方向の姿勢調節が可能であって且つ高い精度でステージの位置制御を行うことができるようにする。 【解決手段】 平行してY方向に延びる一対のY方向ガイド31,32に案内される一対のY方向スライダ33,34にまたがって設けられたX方向ガイド21に案内されるX方向スライダ23上にステージ1が搭載され、XY方向に移動可能である。一方のY方向スライダ31はヒンジ81を介してX方向ガイド21に連結されている。一対のY方向スライダ31,32がY方向で互いに逆向きに移動することでX方向ガイド21、X方向スライダ23及びステージ1が一体にθ方向移動する。他方のY方向ガイド32は平ガイドであり他方のY方向スライダ34はX方向に変位可能である。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)