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1. (WO2017145419) PROCÉDÉ DE NETTOYAGE POUR UN SYSTÈME DE PRODUCTION D'EAU ULTRAPURE

Pub. No.:    WO/2017/145419    International Application No.:    PCT/JP2016/076556
Publication Date: Fri Sep 01 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Sat Sep 10 01:59:59 CEST 2016
IPC: B08B 9/032
B08B 3/08
Applicants: KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
栗田工業株式会社
Inventors: IINO, Hideaki
飯野 秀章
MORITA, Hiroshi
森田 博志
Title: PROCÉDÉ DE NETTOYAGE POUR UN SYSTÈME DE PRODUCTION D'EAU ULTRAPURE
Abstract:
Dans la présente invention, de l'eau ultrapure est fournie à haute pression à au moins une partie d'un système (1) de production d'eau ultrapure, qui est pourvu d'un dispositif (4) de production d'eau ultrapure, d'un point d'utilisation (5) et de conduits reliant le dispositif (4) de production d'eau ultrapure et le point d'utilisation (5), ce qui permet de rompre des particules fines et la matière organique adhérant à l'intérieur du système (1) de production d'eau ultrapure (1), en particulier, aux parois internes des conduits et analogues, de façon à les nettoyer et éliminer physiquement. Grâce à ce procédé de nettoyage pour le système (1) de production d'eau ultrapure, il est possible d'éliminer efficacement des impuretés telles que des matières organiques, des particules fines et des substances ioniques mélangées ou générées dans le système (1) de production d'eau ultrapure.