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1. (WO2017145396) UNITÉ DE TRANSPORT ET DISPOSITIF D’ESSAI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2017/145396 N° de la demande internationale : PCT/JP2016/060791
Date de publication : 31.08.2017 Date de dépôt international : 31.03.2016
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 28.10.2016
CIB :
H01L 21/66 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677
pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
Déposants :
株式会社東京精密 TOKYO SEIMITSU CO., LTD. [JP/JP]; 東京都八王子市石川町2968-2 2968-2, Ishikawa-machi, Hachioji-shi, Tokyo 1928515, JP
Inventeurs :
酒井 健太郎 SAKAI, Kentaro; JP
市川 武清 ICHIKAWA, Takekiyo; JP
Mandataire :
松浦 憲三 MATSUURA, Kenzo; JP
Données relatives à la priorité :
2016-03605226.02.2016JP
Titre (EN) TRANSPORT UNIT AND PROBER
(FR) UNITÉ DE TRANSPORT ET DISPOSITIF D’ESSAI
(JA) 搬送ユニット及びプローバ
Abrégé :
(EN) The invention provides a prober and a transport unit such that throughput at each measurement unit can be increased in a prober equipped with a transport unit moving between a transport object housing unit and a plurality of measurement units, and transporting transport objects (for instance, a wafer and/or a probe card) to the transport object housing unit or each of the measurement units. The prober 10 comprises: the transport object housing unit 12 housing a plurality of transport objects; the plurality of measurement units 14; the transport unit 16 moving between the plurality of measurement units 14 and the transport object housing unit 12 housing the plurality of transport objects, and transporting transport objects into the transport object housing unit 12 or into each of the measurement units 14; and a moving device 22. The transport unit 16 comprises environment control means 16d for controlling the internal environment of the casing 16a, and air-curtain forming means 42 causing the interior of the casing 16a to become a sealed or a substantially sealed space.
(FR) L’invention concerne un dispositif d’essai et une unité de transport telle que le rendement au niveau de chaque unité de mesure peut être augmenté dans un dispositif d’essai équipé d’une unité de transport se déplaçant entre une unité de logement d’objet de transport et une pluralité d’unités de mesure, et transportant des objets de transport (par exemple, une plaquette et/ou une carte d’essai) à l’unité de logement d’objets de transport ou à chaque unité de mesure. Le dispositif d’essai (10) comprend : l'unité de logement (12) d’objets de transport contenant une pluralité d’objets de transport ; la pluralité d’unités de mesure (14) ; l’unité de transport (16) se déplaçant entre la pluralité d’unités de mesure (14) et l’unité de logement (12) d’objets de transport contenant la pluralité d’objets de transport, et transportant des objets de transport dans l’unité de logement (12) d’objets de transport ou dans chacune des unités de mesure (14) ; et un dispositif mobile (22). L’unité de transport (16) comprend des moyens de contrôle environnemental (16d) pour le contrôle de l’environnement interne de l’enceinte (16a), et des moyens de formation de rideau d’air (42) permettant que l’intérieur de l’enceinte (16a) devienne un espace étanche ou sensiblement étanche.
(JA) 搬送物収納部と複数の測定部との間で移動して搬送物(例えば、ウエハ及びプローブカードのうち少なくとも一方)を搬送物収納部又は各測定部に搬送する搬送ユニットを備えたプローバにおいて、各測定部でのスループットを向上させることができるプローバ及び搬送ユニットを提供する。プローバ10は、複数の搬送物を収納する搬送物収納部12と、複数の測定部14と、複数の搬送物を収納する搬送物収納部12と複数の測定部14との間を移動して搬送物を搬送物収納部12内又は各測定部14内に搬送する搬送ユニット16と、移動装置22と、を備えるプローバ10であって、搬送ユニット16は、筐体16a内の環境を制御する環境制御手段16dと、筐体16a内を密閉又は略密閉空間とするエアカーテン形成手段42と、を備える。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)