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1. (WO2017145385) SYSTÈME D'ÉMISSION DE FAISCEAU, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET SYSTÈME OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE POUR DISPOSITIF D'EXPOSITION

Pub. No.:    WO/2017/145385    International Application No.:    PCT/JP2016/055921
Publication Date: Fri Sep 01 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Sat Feb 27 00:59:59 CET 2016
IPC: G03F 7/20
H05H 13/04
Applicants: GIGAPHOTON INC.
ギガフォトン株式会社
Inventors: SUZUKI, Akiyoshi
鈴木 章義
WAKABAYASHI, Osamu
若林 理
Title: SYSTÈME D'ÉMISSION DE FAISCEAU, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET SYSTÈME OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE POUR DISPOSITIF D'EXPOSITION
Abstract:
La présente invention permet de régler plus librement la direction de polarisation d'une lumière d'éclairage sur la surface d'éclairage du dispositif d'exposition. Le système d'émission de faisceau (121) d'après la présente invention émet un faisceau lumineux à polarisation linéaire (L) provenant d'un dispositif laser à électrons libres (10) à destination d'un dispositif d'exposition (130) et comprend : une unité de division de faisceau lumineux (50) qui divise le faisceau lumineux (L) en un premier faisceau lumineux (L1) et un second faisceau lumineux (L2); et une unité de rotation de première direction de polarisation (51) qui fait tourner la direction de polarisation linéaire du premier faisceau lumineux (L1).