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1. (WO2017145385) SYSTÈME D'ÉMISSION DE FAISCEAU, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET SYSTÈME OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE POUR DISPOSITIF D'EXPOSITION
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N° de publication :    WO/2017/145385    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/055921
Date de publication : 31.08.2017 Date de dépôt international : 26.02.2016
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H05H 13/04 (2006.01)
Déposants : GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
Inventeurs : SUZUKI, Akiyoshi; (JP).
WAKABAYASHI, Osamu; (JP)
Mandataire : YANAGIDA, Masashi; (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) BEAM TRANSMISSION SYSTEM, EXPOSURE DEVICE, AND ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM FOR EXPOSURE DEVICE
(FR) SYSTÈME D'ÉMISSION DE FAISCEAU, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET SYSTÈME OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE POUR DISPOSITIF D'EXPOSITION
(JA) ビーム伝送システム、露光装置および露光装置の照明光学系
Abrégé : front page image
(EN)The present invention makes it possible to set the polarization direction of illumination light on the illumination surface of the exposure device more freely. This beam transmission system (121), which transmits a linearly polarized light beam (L) output from a free electron laser device (10) to an exposure device (130), includes a light beam splitting unit (50) that splits the light beam (L) into a first light beam (L1) and a second light beam (L2), and a first polarization direction turning unit (51) that causes the linear polarization direction of the first light beam (L1) to turn.
(FR)La présente invention permet de régler plus librement la direction de polarisation d'une lumière d'éclairage sur la surface d'éclairage du dispositif d'exposition. Le système d'émission de faisceau (121) d'après la présente invention émet un faisceau lumineux à polarisation linéaire (L) provenant d'un dispositif laser à électrons libres (10) à destination d'un dispositif d'exposition (130) et comprend : une unité de division de faisceau lumineux (50) qui divise le faisceau lumineux (L) en un premier faisceau lumineux (L1) et un second faisceau lumineux (L2); et une unité de rotation de première direction de polarisation (51) qui fait tourner la direction de polarisation linéaire du premier faisceau lumineux (L1).
(JA)露光装置の照明面における照明光の偏光方向を、より自由に設定可能とする。自由電子レーザ装置(10)から出力される直線偏光した光ビーム(L)を露光装置(130)に伝送するビーム伝送システム(121)は、光ビーム(L)を第1の光ビーム(L1)と第2の光ビーム(L2)とに分岐する光ビーム分岐部(50)、および第1の光ビーム(L1)の直線偏光方向を回転させる第1の偏光方向回転部(51)を含む。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)