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1. (WO2017145356) DISPOSITIF DE DÉTECTION, SYSTÈME DE DÉTECTION, PROCÉDÉ DE DÉTECTION, DISPOSITIF DE TRAITEMENT D'INFORMATIONS, ET PROGRAMME DE TRAITEMENT

Pub. No.:    WO/2017/145356    International Application No.:    PCT/JP2016/055809
Publication Date: Fri Sep 01 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Sat Feb 27 00:59:59 CET 2016
IPC: G01B 11/24
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
Inventors: SUGIMURA, Takeaki
杉村 武昭
NAKAGAWA, Yoshihiro
中川 源洋
Title: DISPOSITIF DE DÉTECTION, SYSTÈME DE DÉTECTION, PROCÉDÉ DE DÉTECTION, DISPOSITIF DE TRAITEMENT D'INFORMATIONS, ET PROGRAMME DE TRAITEMENT
Abstract:
Le problème décrit par la présente invention est de fournir un dispositif de détection qui permet de construire, de manière très précise, la forme tridimensionnelle d'un objet à partir de résultats de détection de l'objet. La solution selon l'invention concerne un dispositif de détection (1) qui comporte une unité de détection (2) pour détecter un objet (OB) depuis un point de vue (Vp), une unité de calcul de précision (3) pour calculer des informations de précision de l'objet au niveau du point de vue, et une unité de calcul d'informations (4) pour calculer au moins un élément parmi des informations de forme et des informations de texture de l'objet au niveau du point de vue en utilisant les résultats de détection de l'unité de détection et les informations de précision.