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1. (WO2017145293) ROULEAU DE GUIDAGE ET APPAREIL DE TRANSFERT DE SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2017/145293    International Application No.:    PCT/JP2016/055465
Publication Date: Fri Sep 01 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Thu Feb 25 00:59:59 CET 2016
IPC: B65G 49/06
Applicants: SAKAI DISPLAY PRODUCTS CORPORATION
堺ディスプレイプロダクト株式会社
Inventors: FUJII, Takeshi
藤井 武史
MIBU, Yoshihito
壬生 義仁
NONAKA, Kenichi
野中 健一
Title: ROULEAU DE GUIDAGE ET APPAREIL DE TRANSFERT DE SUBSTRAT
Abstract:
L'invention concerne : un rouleau de guidage, permettant de raccourcir la durée d'opération de remplacement, d'éviter les opérations d'ajustement de position de rouleau de guidage et de réduire le temps d'arrêt de l'équipement, contribuant à supprimer la détérioration de la productivité; et un appareil de transfert de substrat comprenant le rouleau de guidage. Un appareil de transfert de substrat (1) comprend des rouleaux de transfert (3); une pluralité d'arbres de transfert (2) qui comprennent les rouleaux de transfert (3); un rouleau de guidage (5) qui guide un substrat (10); et une section de support de rouleau (6) ayant un arbre de support (62) qui supporte le rouleau de guidage (5) au niveau d'une extrémité. Une section de contact (52) du rouleau de guidage (5) en contact avec le substrat (10) peut être séparée d'autres sections (une section de base (51) et une section d'écrou (53)).