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1. (WO2017144573) IMPRESSION PAR MICRO-TRANSFERT EFFICACE DE DISPOSITIFS D'ÉCHELLE MICROMÉTRIQUE SUR DES SUBSTRATS GRAND FORMAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2017/144573    N° de la demande internationale :    PCT/EP2017/054140
Date de publication : 31.08.2017 Date de dépôt international : 23.02.2017
CIB :
H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : X-CELEPRINT LIMITED [IE/IE]; Lee Maltings Dyke Parade Cork (IE)
Inventeurs : BOWER, Christopher; (IE).
MEITL, Matthew; (IE)
Mandataire : GRAHAM WATT & CO LLP; St Botolph's House 7-9 St Botolph's Road Sevenoaks Kent TN13 3AJ (GB)
Données relatives à la priorité :
62/300,040 25.02.2016 US
Titre (EN) EFFICIENTLY MICRO-TRANSFER PRINTING MICRO-SCALE DEVICES ONTO LARGE-FORMAT SUBSTRATES
(FR) IMPRESSION PAR MICRO-TRANSFERT EFFICACE DE DISPOSITIFS D'ÉCHELLE MICROMÉTRIQUE SUR DES SUBSTRATS GRAND FORMAT
Abrégé : front page image
(EN)A method of making a micro-transfer printed system includes providing a source wafer (10) having a plurality of micro-transfer printable source devices (12 arranged at a source spatial density; providing an intermediate wafer (20) having a plurality of micro-transfer printable intermediate supports (24) arranged at an intermediate spatial density less than or equal to the source spatial density; providing a destination substrate (30); micro-transfer printing the source devices from the source wafer to the intermediate supports of the intermediate wafer with a source stamp having a plurality of posts at a source transfer density to make an intermediate device (22) on each intermediate support; and micro-transfer printing the intermediate devices from the intermediate wafer to the destination substrate at a destination spatial density less than the source spatial density with an intermediate stamp having a plurality of posts at an intermediate transfer density less than the source transfer density.
(FR)L'invention concerne un procédé de fabrication d'un système imprimé par micro-transfert, qui consiste : à fournir une tranche source (10) comportant une pluralité de dispositifs sources imprimables par micro-transfert (12) agencés à une densité spatiale source; à fournir une tranche intermédiaire (20) comportant une pluralité de supports intermédiaires imprimables par micro-transfert (24) agencés à une densité spatiale intermédiaire inférieure ou égale à la densité spatiale source; à fournir un substrat de destination (30); à imprimer par micro-transfert les dispositifs sources de la tranche source sur les supports intermédiaires de la tranche intermédiaire avec un poinçon source comportant une pluralité de tiges à une densité de transfert source pour fabriquer un dispositif intermédiaire (22) sur chaque support intermédiaire; et à imprimer par micro-transfert les dispositifs intermédiaires de la tranche intermédiaire sur le substrat de destination à une densité spatiale de destination inférieure à la densité spatiale source avec un poinçon intermédiaire comportant une pluralité de tiges à une densité de transfert intermédiaire inférieure à la densité de transfert source.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)