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1. (WO2017144458) CAPTEUR DE POINT DE ROSÉE COMPATIBLE CMOS ET PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION D'UN POINT DE ROSÉE

Pub. No.:    WO/2017/144458    International Application No.:    PCT/EP2017/053923
Publication Date: Fri Sep 01 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Feb 22 00:59:59 CET 2017
IPC: G01N 25/68
Applicants: AMS AG
Inventors: SOCCOL, Dimitri
NGUYEN HOANG, Viet
VAN STEENWINCKEL, David
DAAMEN, Roel
BANCKEN, Pascal
Title: CAPTEUR DE POINT DE ROSÉE COMPATIBLE CMOS ET PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION D'UN POINT DE ROSÉE
Abstract:
L'invention concerne un capteur de point de rosée comprenant un substrat semi-conducteur (1), un élément Peltier (2), qui peut être intégré dans le substrat (1), un capteur de température (3), un condensateur (4) au niveau d'une surface exposée (9) au-dessus du substrat (1) et à proximité du capteur de température (3), et un circuit électronique (5), qui peuvent également être intégrés dans le substrat (1). Le condensateur (4) comprend une pluralité d'éléments condensateurs (40) ayant chacun une capacité, et le circuit électronique (5) sert à déterminer les capacités individuelles. Le point de rosée est déterminé par une mesure de la variation des capacités à des températures décroissantes et une mesure de la température correspondante.