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1. (WO2017144265) HOMOGÉNÉISATEUR DE FAISCEAU, SYSTÈME D'ÉCLAIRAGE ET SYSTÈME DE MÉTROLOGIE

Pub. No.:    WO/2017/144265    International Application No.:    PCT/EP2017/052627
Publication Date: Fri Sep 01 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Wed Feb 08 00:59:59 CET 2017
IPC: G02B 27/09
G03F 7/20
F21V 8/00
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
ASML HOLDING N.V.
Inventors: EURLINGS, Markus, Franciscus, Antonius
KOOLEN, Armand, Eugene, Albert
TUKKER, Teunis, Willem
DE WIT, Johannes, Matheus, Marie
SMIRNOV, Stanislav
Title: HOMOGÉNÉISATEUR DE FAISCEAU, SYSTÈME D'ÉCLAIRAGE ET SYSTÈME DE MÉTROLOGIE
Abstract:
L'invention concerne un homogénéisateur de faisceau destiné à homogénéiser un faisceau de rayonnement et un système d'éclairage et un appareil de métrologie comprenant un tel homogénéisateur de faisceau. L'homogénéisateur de faisceau comprend un système de filtre ayant un profil d'absorption radial pouvant être commandé et configuré pour délivrer en sortie un faisceau filtré et un élément de mélange optique configuré pour homogénéiser le faisceau filtré. Le système de filtre peut être configuré pour homogénéiser radialement le profil de faisceau angulaire et ledit élément de mélange optique peut être configuré pour homogénéiser de façon azimutale le profil de faisceau angulaire.