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1. (WO2017144265) HOMOGÉNÉISATEUR DE FAISCEAU, SYSTÈME D'ÉCLAIRAGE ET SYSTÈME DE MÉTROLOGIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2017/144265 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/052627
Date de publication : 31.08.2017 Date de dépôt international : 07.02.2017
CIB :
G02B 27/09 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01) ,F21V 8/00 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V.[NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
ASML HOLDING N.V.[NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs : EURLINGS, Markus, Franciscus, Antonius; NL
KOOLEN, Armand, Eugene, Albert; NL
TUKKER, Teunis, Willem; NL
DE WIT, Johannes, Matheus, Marie; NL
SMIRNOV, Stanislav; US
Mandataire : BROEKEN, Petrus; NL
Données relatives à la priorité :
62/299,72325.02.2016US
Titre (EN) BEAM HOMOGENIZER, ILLUMINATION SYSTEM AND METROLOGY SYSTEM
(FR) HOMOGÉNÉISATEUR DE FAISCEAU, SYSTÈME D'ÉCLAIRAGE ET SYSTÈME DE MÉTROLOGIE
Abrégé : front page image
(EN) A beam homogenizer for homogenizing a beam of radiation and an illumination system and metrology apparatus comprising such a beam homogenizer as provided. The beam homogenizer comprises a filter system having a controllable radial absorption profile and configured to output a filtered beam and an optical mixing element configured to homogenize the filtered beam. The filter system may be configured to homogenize the angular beam profile radially and said optical mixing element may be configured to homogenize the angular beam profile azimuthally.
(FR) L'invention concerne un homogénéisateur de faisceau destiné à homogénéiser un faisceau de rayonnement et un système d'éclairage et un appareil de métrologie comprenant un tel homogénéisateur de faisceau. L'homogénéisateur de faisceau comprend un système de filtre ayant un profil d'absorption radial pouvant être commandé et configuré pour délivrer en sortie un faisceau filtré et un élément de mélange optique configuré pour homogénéiser le faisceau filtré. Le système de filtre peut être configuré pour homogénéiser radialement le profil de faisceau angulaire et ledit élément de mélange optique peut être configuré pour homogénéiser de façon azimutale le profil de faisceau angulaire.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)