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1. (WO2017144252) PROCÉDÉ ET SYSTÈME D'INSPECTION DE DÉFAUT À HAUT DÉBIT UTILISANT LE CONTRASTE DU DOMAINE DE FRÉQUENCE SPATIALE RÉDUIT
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N° de publication : WO/2017/144252 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/052289
Date de publication : 31.08.2017 Date de dépôt international : 02.02.2017
CIB :
G03F 1/84 (2012.01) ,G01N 21/95 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
1
Originaux pour la production par voie photomécanique de surfaces texturées, p.ex. masques, photomasques ou réticules; Masques vierges ou pellicules à cet effet; Réceptacles spécialement adaptés à ces originaux; Leur préparation
68
Procédés de préparation non couverts par les groupes G03F1/20-G03F1/50105
82
Procédés auxiliaires, p.ex. nettoyage ou inspection
84
Inspection
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84
Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88
Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95
caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
Déposants :
PAUL SCHERRER INSTITUT [CH/CH]; 5232 Villigen PSI, CH
Inventeurs :
EKINCI, Yasin; CH
Mandataire :
FISCHER, Michael; DE
Données relatives à la priorité :
16156736.722.02.2016EP
Titre (EN) METHOD AND SYSTEM FOR HIGH-THROUGHPUT DEFECT INSPECTION USING THE CONTRAST IN THE REDUCED SPATIAL FREQUENCY DOMAIN
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME D'INSPECTION DE DÉFAUT À HAUT DÉBIT UTILISANT LE CONTRASTE DU DOMAINE DE FRÉQUENCE SPATIALE RÉDUIT
Abrégé :
(EN) The present invention discloses methods and a system for scanning scattering contrast inspection for the identification of defects (4) in an actual pattern block (6) on a sample (2) as compared to the desired pattern block on the sample (2) hereby offering a novel solution in order to achieve defect sensitivity and throughput. The method omit the most of the information in reciprocal space (spatial frequency domain) in order to increase the throughput and it captures on the information in the reciprocal space that gives the highest defect information, i.e. contrast signal between the defected and defect-free structure. Subject of the present invention is that the investigation for only deviations from the expected diffraction pattern will allow rapid identification of the defects on the actual pattern of the sample. While the first method describes a method that learns the correct reconstructed diffraction image by the comparison of the repetitive pattern blocks, the second method focusses on the appearance of predictable defects in the spatial frequency domain of the reconstructed diffraction image thereby defining regions of interest where the defects materialize and speeds up the investigations since only those regions of interest have to be considered and compared to the reconstruction diffraction image of a defect-free pattern block.
(FR) La présente invention concerne des procédés et un système pour le balayage d'inspection de contraste de diffusion pour l'identification de défauts (4) dans un bloc de motifs réels (6) sur un échantillon (2) par comparaison avec le bloc de motifs souhaités sur l'échantillon (2), offrant ainsi une nouvelle solution pour obtenir un débit et une sensibilité aux défauts. Le procédé omet l'essentiel des informations dans un espace réciproque (domaine de fréquence spatiale) pour augmenter le débit, et il capture les informations dans l'espace réciproque qui donnent les informations de défauts les plus élevés, c'est-à-dire un signal de contraste entre le défaut et la structure sans défaut. La présente invention se rapporte à la recherche d'écarts uniquement par rapport au motif de diffraction attendu qui permettra l'identification rapide des défauts sur le motif réel de l'échantillon. Tandis que le premier procédé décrit un procédé qui apprend l'image de diffraction reconstruite correcte par la comparaison des blocs de motifs répétitifs, le second procédé se concentre sur l'aspect de défauts prévisibles dans le domaine de fréquence spatiale de l'image de diffraction reconstruite, permettant ainsi de définir des régions d'intérêt dans lesquelles les défauts matérialisent et accélèrent les recherches car seules ces régions d'intérêt doivent être considérées et comparées à l'image de diffraction de reconstruction d'un bloc de motifs sans défaut.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)