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1. (WO2017144236) SYSTÈME D'ACTIONNEUR ET APPAREIL LITHOGRAPHIQUE
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N° de publication : WO/2017/144236 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/051877
Date de publication : 31.08.2017 Date de dépôt international : 30.01.2017
CIB :
G03F 7/20 (2006.01) ,G01B 9/02 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9
Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
02
Interféromètres
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs :
VAN LEEUWEN, Robbert, Edgar; NL
BUTLER, Hans; NL
Mandataire :
RAS, Michael; NL
Données relatives à la priorité :
16157397.725.02.2016EP
Titre (EN) ACTUATOR SYSTEM AND LITHOGRAPHIC APPARATUS
(FR) SYSTÈME D'ACTIONNEUR ET APPAREIL LITHOGRAPHIQUE
Abrégé :
(EN) An actuator system (AS) is configured to position an object (OJ), the actuator system comprises a piezo actuator (PA) comprising an actuator contact surface (ACS). The piezo actuator is configured to exert a force (F) via the actuator contact surface onto the object. The actuator system further comprises an optical position sensor (OPS) configured to measure a position of the actuator contact surface. The piezo actuator comprises a transparent piezo material. The optical position sensor is configured to transmit an optical beam (OB) through the transparent piezo material to the actuator contact surface. The transparent piezo material may be LJNB03. The optical position sensor may form an interferometer.
(FR) L'invention concerne un système d'actionneur (AS) qui est configuré pour positionner un objet (OJ), le système d'actionneur comprenant un actionneur piézoélectrique (PA) comportant une surface de contact d'actionneur (ACS). L'actionneur piézoélectrique est configuré pour exercer une force (F), par l'intermédiaire de la surface de contact d'actionneur, sur l'objet. Le système d'actionneur comprend en outre un capteur de position optique (OPS) configuré pour mesurer une position de la surface de contact d'actionneur. L'actionneur piézoélectrique comprend un matériau piézoélectrique transparent. Le capteur de position optique est configuré pour transmettre un faisceau optique (OB), à travers le matériau piézoélectrique transparent, à la surface de contact d'actionneur. Le matériau piézoélectrique transparent peut être LJNB03. Le capteur de position optique peut former un interféromètre.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)