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1. (WO2017144148) COMPOSITION DE SILOXANE PHOTOSENSIBLE DE TYPE POSITIF

Pub. No.:    WO/2017/144148    International Application No.:    PCT/EP2017/000070
Publication Date: Fri Sep 01 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Sat Jan 21 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/004
G03F 7/023
G03F 7/075
Applicants: AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S.À R.L.
Inventors: MISUMI, Motoki
YOKOYAMA, Daishi
TAKAHASHI, Megumi
NONAKA, Toshiaki
Title: COMPOSITION DE SILOXANE PHOTOSENSIBLE DE TYPE POSITIF
Abstract:
L'invention se rapporte à une composition photosensible de type positif qui peut former un motif de haute résolution, de résistance à la chaleur élevée et de transparence élevée sans émission de substances volatiles dangereuses telles que le benzène, qui peut également réduire les défauts de motif provoqués par des résidus de développement, par des résidus non dissous, ou par des traces peu solubles réattachées laissées dans la formation de motif, et qui peut en outre présenter une excellente stabilité au stockage.La composition de siloxane photosensible de type positif selon la présente invention comprend : un polysiloxane ayant un groupe phényle, un dérivé de diazonaphtoquinone, un hydrate ou un solvate d'un photogénérateur de base ayant une structure hétérocyclique particulière contenant de l'azote, et un solvant organique.