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1. (WO2017144101) CELLULE DE MESURE DE VIDE CAPACITIVE À PLUSIEURS ÉLECTRODES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2017/144101 N° de la demande internationale : PCT/EP2016/053976
Date de publication : 31.08.2017 Date de dépôt international : 25.02.2016
CIB :
G01L 9/00 (2006.01) ,G01L 21/00 (2006.01)
Déposants : INFICON AG[LI/LI]; Alte Landstrasse 6 9496 Balzers, LI
Inventeurs : STRIETZEL, Carsten; AT
Mandataire : TROESCH SCHEIDEGGER WERNER AG; Peter D. Rigling Schwäntenmos 14 8126 Zumikon, CH
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) CAPACITIVE VACUUM MEASURING CELL HAVING A MULTI-ELECTRODE
(FR) CELLULE DE MESURE DE VIDE CAPACITIVE À PLUSIEURS ÉLECTRODES
(DE) KAPAZITIVE VAKUUMMESSZELLE MIT MULTIELEKTRODE
Abrégé : front page image
(EN) The invention relates to a capacitive vacuum measuring cell having a first housing body (1) with a membrane (2) which is arranged at a distance therefrom so as to form a seal in the edge region (3) in such a way that a reference vacuum space (9) is formed in between, wherein opposite surfaces (7, 8) of the first housing body and of the membrane (2) comprise at least one electrode (G, G1, G2,... Gn; M1, M2,... Mn). A second housing body (4) is provided so as to form a seal with respect to the membrane (2) in the edge region and forms, with said membrane, a measuring vacuum space (10) in which connection means (5) for connection to a process space are present. In this case, the electrode (G, G1, G2,... Gn; M1, M2,... Mn) comprises, on the housing surface (7) and/or the membrane surface (8), at least two housing electrodes (G1, G2,... Gn) which are electrically insulated with respect to one another and/or membrane electrodes (M1, M2,... Mn) which are arranged in such a manner that they form at least two measuring capacitances (C1, C2,... Cn) with at least one opposite electrode (G, M), as a result of which it is possible to capacitively detect the deflection of the membrane at a plurality of points. The housing electrode (G) or the housing electrodes (G1, G2,... Gn) and/or the membrane electrode (M) or the membrane electrodes (M1, M2,... Mn) can be operatively connected to a signal processing unit in this case.
(FR) L’invention concerne une cellule de mesure de vide capacitive comprenant un premier corps de boîtier (1) muni d’une membrane (2) disposée de façon étanche dans la zone de bordure (3) à distance du corps de boîtier de façon à ménager entre eux un espace vide de référence (9). Des surfaces opposées (7, 8) du premier corps de boîtier et de la membrane (2) comportent au moins une électrode (G, G1, G2,... Gn; M1, M2,... Mn). Un second corps de boîtier (4) est prévu de manière étanche à l’opposé de la membrane (2) dans la zone de bordure et forme avec la membrane un espace vide de mesure (10) dans lequel se trouvent des moyens de raccordement (5) destinés au raccordement à une chambre de traitement. Les électrodes (G, G1, G2,... Gn; M1, M2,... Mn), situées sur la surface de boîtier (7) et/ou la surface de membrane (8), comportent au moins deux électrodes de boîtier (G1, G2,... Gn) et/ou électrodes de membrane (M1, M2,... Mn) isolées électriquement les unes des autres et disposées de façon à former avec au moins une électrode opposée (G, M) au moins deux condensateurs de mesure (C1, C2,... Cn) de sorte que la déviation de la membrane en plusieurs points peut être détectée de manière capacitive. L’électrode de boîtier (G) ou les électrodes de boîtier (G1, G2,... Gn) et/ou l’électrode de membrane (M) ou les électrodes de membrane (M1, M2,... Mn) peuvent être reliées fonctionnellement à une unité de traitement de signal.
(DE) Die Erfindung betrifft eine kapazitive Vakuummesszelle mit einem ersten Gehäusekörper (1) mit einer davon beabstandeten im Randbereich (3) dichtend angeordneten Membran (2), derart dass dazwischen ein Referenzvakuumraum (9) ausgebildet ist, wobei gegenüberliegende Oberflächen (7, 8) des ersten Gehäusekörpers und der Membran (2) zumindest eine Elektrode (G, G1, G2,... Gn; M1, M2,... Mn) umfassen. Ein zweiter Gehäusekörper (4) ist gegenüber der Membrane (2) im Randbereich dichtend vorgesehen und bildet mit dieser einen Messvakuumraum (10), in welchem Anschlussmittel (5) zur Verbindung mit einem Prozessraum vorhanden sind. Dabei umfasst die Elektroden (G, G1, G2,... Gn; M1, M2,... Mn) auf der Gehäuseoberfläche (7) oder/und der Membranoberfläche (8) zumindest zwei, voneinander elektrisch isolierte Gehäuseelektroden (G1, G2,... Gn) oder/und Membranelektroden (M1, M2,... Mn), die so angeordnet sind, dass sie mit zumindest einer gegenüberliegenden Elektrode (G, M) zumindest zwei Messkapazitäten (C1, C2,... Cn) bilden, wodurch die Auslenkung der Membran an mehreren Stellen kapazitiv erfassbar ist. Gehäuseelektrode (G) oder die Gehäuseelektroden (G1, G2,... Gn) oder/und die Membranelektrode (M) oder die Membranelektroden (M1, M2,... Mn) sind dabei mit einer Signalverarbeitungseinheit wirkverbindbar.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)