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1. (WO2017144101) CELLULE DE MESURE DE VIDE CAPACITIVE À PLUSIEURS ÉLECTRODES

Pub. No.:    WO/2017/144101    International Application No.:    PCT/EP2016/053976
Publication Date: Fri Sep 01 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Fri Feb 26 00:59:59 CET 2016
IPC: G01L 9/00
G01L 21/00
Applicants: INFICON AG
Inventors: STRIETZEL, Carsten
Title: CELLULE DE MESURE DE VIDE CAPACITIVE À PLUSIEURS ÉLECTRODES
Abstract:
L’invention concerne une cellule de mesure de vide capacitive comprenant un premier corps de boîtier (1) muni d’une membrane (2) disposée de façon étanche dans la zone de bordure (3) à distance du corps de boîtier de façon à ménager entre eux un espace vide de référence (9). Des surfaces opposées (7, 8) du premier corps de boîtier et de la membrane (2) comportent au moins une électrode (G, G1, G2,... Gn; M1, M2,... Mn). Un second corps de boîtier (4) est prévu de manière étanche à l’opposé de la membrane (2) dans la zone de bordure et forme avec la membrane un espace vide de mesure (10) dans lequel se trouvent des moyens de raccordement (5) destinés au raccordement à une chambre de traitement. Les électrodes (G, G1, G2,... Gn; M1, M2,... Mn), situées sur la surface de boîtier (7) et/ou la surface de membrane (8), comportent au moins deux électrodes de boîtier (G1, G2,... Gn) et/ou électrodes de membrane (M1, M2,... Mn) isolées électriquement les unes des autres et disposées de façon à former avec au moins une électrode opposée (G, M) au moins deux condensateurs de mesure (C1, C2,... Cn) de sorte que la déviation de la membrane en plusieurs points peut être détectée de manière capacitive. L’électrode de boîtier (G) ou les électrodes de boîtier (G1, G2,... Gn) et/ou l’électrode de membrane (M) ou les électrodes de membrane (M1, M2,... Mn) peuvent être reliées fonctionnellement à une unité de traitement de signal.