WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2017143028) SOURCE D’ULTRAVIOLETS EXTRÊMES À COMMANDE DE PLASMA À CUSPIDE MAGNÉTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2017/143028    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/018118
Date de publication : 24.08.2017 Date de dépôt international : 16.02.2017
CIB :
H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : PLEX LLC [US/US]; 275 Martine Street Suite 103 Fall River, MA 02723 (US)
Inventeurs : MCGEOCH, Malcolm, W.; (US)
Mandataire : MCCLELLAN, William, R.; (US)
Données relatives à la priorité :
15/046,604 18.02.2016 US
Titre (EN) EXTREME ULTRAVIOLET SOURCE WITH MAGNETIC CUSP PLASMA CONTROL
(FR) SOURCE D’ULTRAVIOLETS EXTRÊMES À COMMANDE DE PLASMA À CUSPIDE MAGNÉTIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A laser-produced plasma extreme ultraviolet source has a buffer gas to slow ions down and thermalize them in a low temperature plasma. The plasma is initially trapped in a symmetrical cusp magnetic field configuration with a low magnetic field barrier to radial motion. Plasma overflows in a full range of radial directions and is conducted within a cone- shaped sheet to an annular beam dump.
(FR)La présente invention porte sur une source d'ultraviolets extrêmes à plasma produit par laser qui présente un gaz tampon pour ralentir des ions et les thermaliser dans un plasma basse température. Le plasma est initialement piégé dans une configuration de champ magnétique à cuspide symétrique avec une barrière de champ magnétique faible vis-à-vis d'un mouvement radial. Du plasma déborde dans une large plage de directions radiales et est guidé dans une feuille en forme de cône vers une vanne de faisceau annulaire.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)