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1. (WO2017142607) FABRICATION DE NANOCAVITÉS THERMIQUEMENT STABLES ET DE NANOSTRUCTURES À PARTICULES EN CAVITÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/142607    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/064664
Date de publication : 24.08.2017 Date de dépôt international : 02.12.2016
CIB :
C25D 11/04 (2006.01)
Déposants : THE UNIVERSITY OF FLORIDA RESEARCH FOUNDATION, INC. [US/US]; 223 Grinter Hall Gainesville, FL 32611 (US)
Inventeurs : XU, Cheng; (US).
LI, Luping; (US).
ZHAO, Yang; (US).
ZIEGLER, Kirk, Jeremy; (US).
WONG, Justin, C.; (US)
Mandataire : SCHOEN, Randy R.; (US).
LINDER, Christopher, B.; (US).
RISLEY, David, R.; (US).
DEVEAU, Todd, N.; (US).
SCHOEN, Randy, R.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/263,010 04.12.2015 US
Titre (EN) FABRICATION OF THERMALLY STABLE NANOCAVITIES AND PARTICLE-IN-CAVITY NANOSTRUCTURES
(FR) FABRICATION DE NANOCAVITÉS THERMIQUEMENT STABLES ET DE NANOSTRUCTURES À PARTICULES EN CAVITÉ
Abrégé : front page image
(EN)Various examples related to fabrication of thermally stable ultra-high density particle-in-cavity (PIC) nanostructures. In one example, a method includes disposing an anodized aluminum oxide (AAO) template onto a surface of a substrate; removing, from the AAO template, a support layer disposed on a side of the AAO template opposite the surface of the substrate; etching nanocavities into the surface of the substrate using the AAO template as an etch mask; and removing the AAO template from the surface of the substrate. The method can include fabricating the AAO template on an aluminum substrate by anodization of an aluminum film and removing the AAO template from the aluminum substrate after formation of the support layer on the AAO template.
(FR)Divers modes de réalisation de l'invention cités à titre d'exemple concernent la fabrication de nanostructures à particules en cavité (PIC) thermiquement stables à ultra-haute densité. Selon un exemple, un procédé comprend la disposition d'un gabarit d'oxyde d'aluminium anodisé (AAO) sur une surface d'un substrat; l'élimination, à partir du gabarit AAO, d'une couche de support disposée sur un côté du gabarit AAO opposé à la surface du substrat; la graure de nanocavités dans la surface du substrat en utilisant le gabarit AAO comme masque de gravure; et l'élimination du gabarit AAO à partir de la surface du substrat. Le procédé peut comprendre la fabrication du gabarit AAO sur un substrat en aluminium par anodisation d'un film d'aluminium et l'élimination du gabarit AAO du substrat en aluminium après la formation de la couche de support sur le gabarit AAO.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)