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1. (WO2017141918) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE TRAITEMENT
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N° de publication :    WO/2017/141918    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/005372
Date de publication : 24.08.2017 Date de dépôt international : 14.02.2017
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    25.08.2017    
CIB :
H01L 21/304 (2006.01), B24B 1/00 (2006.01)
Déposants : NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KUMAMOTO UNIVERSITY [JP/JP]; 2-39-1,Kurokami,Chuo-ku,Kumamoto-shi, Kumamoto 8608555 (JP)
Inventeurs : KUBOTA Akihisa; (JP)
Mandataire : ARIYOSHI Shuichiro; (JP).
MORITA Yasuyuki; (JP).
TSUTSUI Nobuyoshi; (JP).
ENDO Satoko; (JP).
KAJIHARA Keita; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-027126 16.02.2016 JP
2016-028408 17.02.2016 JP
Titre (EN) PROCESSING METHOD AND PROCESSING APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE TRAITEMENT
(JA) 加工方法及び加工装置
Abrégé : front page image
(EN)[Problem] To provide a processing method and a processing apparatus capable of realizing high-efficiency, high-precision processing with a simple configuration, using dry polishing for processing diamonds, etc. [Solution] A processing apparatus 1 has a sapphire surface plate 2, and a specimen holder 4 for holding a single-crystal diamond 3. The processing apparatus 1 also has an ozone supply unit 5 for supplying ozone gas to the contact site of the sapphire surface plate 2 and the single-crystal diamond 3.
(FR)[Problème] l'invention a pour objet de fournir un procédé et un appareil de traitement capables de réaliser un traitement de grande efficacité et de haute précision avec une simple configuration, en utilisant un polissage à sec pour le traitement de diamants, etc. [Solution] Selon l'invention, un appareil de traitement 1 présente une plaque de surface en saphir 2 et un support de spécimen 4 pour retenir un diamant monocristallin 3. L'appareil de traitement 1 présente également une unité d'alimentation en ozone 5 pour fournir de l'ozone gazeux au site de contact de la plaque de surface en saphir 2 et au diamant monocristallin 3.
(JA)【課題】ダイヤモンド等を加工するドライ研磨にて、簡易な構成でありながら高能率かつ高精度な加工を実現可能な加工方法及び加工装置を提供する。 【解決手段】加工装置1は、サファイア定盤2と、単結晶ダイヤモンド3を保持する試料ホルダー4を有している。また、加工装置1は、サファイア定盤2と単結晶ダイヤモンド3との接触部位にオゾンガスを供給するオゾン供給部5を有している。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)