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1. (WO2017141611) APPAREIL DE DÉTECTION DE DÉFAUT, PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE DÉFAUT, ET PROGRAMME
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N° de publication : WO/2017/141611 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/001604
Date de publication : 24.08.2017 Date de dépôt international : 18.01.2017
CIB :
G01N 21/88 (2006.01) ,G06T 1/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84
Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88
Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
G PHYSIQUE
06
CALCUL; COMPTAGE
T
TRAITEMENT OU GÉNÉRATION DE DONNÉES D'IMAGE, EN GÉNÉRAL
1
Traitement de données d'image, d'application générale
Déposants :
株式会社SCREENホールディングス SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神北町1番地の1 Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585, JP
Inventeurs :
作山 努 SAKUYAMA, Tsutomu; JP
永田 泰史 NAGATA, Yasushi; JP
大西 浩之 ONISHI, Hiroyuki; JP
Mandataire :
松阪 正弘 MATSUSAKA, Masahiro; JP
田中 勉 TANAKA, Tsutomu; JP
井田 正道 IDA, Masamichi; JP
Données relatives à la priorité :
2016-02942219.02.2016JP
2016-05207416.03.2016JP
2016-05207516.03.2016JP
Titre (EN) DEFECT DETECTION APPARATUS, DEFECT DETECTION METHOD, AND PROGRAM
(FR) APPAREIL DE DÉTECTION DE DÉFAUT, PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE DÉFAUT, ET PROGRAMME
(JA) 欠陥検出装置、欠陥検出方法およびプログラム
Abrégé :
(EN) A plurality of captured images (811) are acquired with light irradiation states changed (Steps S11-S13). Each captured image is compared to a corresponding reference image (812), thereby acquire, as a dark defect candidate area (754), any area that is dark as compared to the reference image (Steps S54-S56). From each of the plurality of captured images, any area that is bright as compared to the reference image is acquired as an inverse-brightness area (753) (Step S57). Any one of the dark defect candidate areas that does not overlap any one of the inverse-brightness areas up to a given degree of condition are excluded from the defect candidates (Step S58) and thereafter, the existence of any defect is acquired on the basis of the defect candidate areas (Step S59). In this way, excessive detections of defects caused by stains or the like on a surface are suppressed in the visual examination.
(FR) Selon la présente invention, une pluralité d’images capturées (811) sont acquises avec des états d’irradiation de lumière modifiés (étapes S11 à S13). Chaque image capturée est comparée à une image de référence correspondante (812), de manière à acquérir, sous la forme d’une zone candidate de défaut obscur (754), une zone quelconque qui est obscure par rapport à l’image de référence (étapes S54 à S56). À partir de chacune de la pluralité d’images capturées, une zone quelconque qui est lumineuse par rapport à l’image de référence est acquise en tant que zone de luminosité inverse (753) (étape S57). L’une quelconque des zones candidates de défaut obscur qui ne chevauche pas l’une quelconque des zones de luminosité inverse jusqu’à ce qu’un degré donné de condition soit exclu des candidats de défaut (étape S58) et ensuite, l’existence d’un défaut quelconque est acquise sur la base des zones candidates de défaut (étape S59). De cette manière, des détections excessives de défauts causés par des salissures ou similaires sur une surface sont supprimées dans l’examen visuel.
(JA) 光の照射状態を変更しつつ複数の撮像画像(811)が取得される(ステップS11~S13)。各撮像画像と、対応する参照画像(812)とが比較され、参照画像に対して暗い領域が暗欠陥候補領域(754)として取得される(ステップS54~S56)。複数の撮像画像のそれぞれから、参照画像に対して明るい領域が明暗逆領域(753)として取得される(ステップS57)。暗欠陥候補領域のうち、いずれの明暗逆領域とも所定条件以上重ならないものを欠陥候補から除外した上で(ステップS58)、欠陥候補領域に基づいて欠陥の存在が取得される(ステップS59)。これにより、外観検査において、表面の汚れ等に起因する欠陥の過検出が抑制される。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)