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1. (WO2017141042) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN ÉLÉMENT DE STOCKAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/141042    N° de la demande internationale :    PCT/GB2017/050414
Date de publication : 24.08.2017 Date de dépôt international : 17.02.2017
CIB :
H01L 45/00 (2006.01)
Déposants : ARM LTD [GB/GB]; 110 Fulbourn Road Cambridge CB1 9NJ (GB)
Inventeurs : REID, Kimberly Gay; (GB).
SHIFREN, Lucian; (GB)
Mandataire : TLIP LTD; Leeds Innovation Centre 103 Clarendon Road Leeds Yorkshire LS2 9DF (GB)
Données relatives à la priorité :
15/048,778 19.02.2016 US
Titre (EN) METHOD PROVIDING FOR A STORAGE ELEMENT
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN ÉLÉMENT DE STOCKAGE
Abrégé : front page image
(EN)A method for forming a thin film (302) comprising a metal, metal compound, or metal oxide on a substrate, which method comprises forming one or more thin film layers (303, 304, 305) of a metal or metal oxide by a deposition process employing reactant precursors and/or relative amounts thereof which are selected to deposit a thin film layer with a controlled amount of dopant derived from at least one reactant precursor.
(FR)L'invention concerne un procédé de formation d'un film mince (302) comprenant un métal, un composé métallique ou un oxyde métallique sur un substrat, lequel procédé comprend la formation d'une ou plusieurs couches de film mince (303, 304, 305) d'un métal ou oxyde métallique par un processus de dépôt employant des précurseurs de réactifs et/ou des quantités relatives de ces derniers qui sont sélectionnés pour déposer une couche de film mince avec une quantité commandée de dopant dérivé d'au moins un précurseur de réactif.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)