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1. (WO2017141042) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN ÉLÉMENT DE STOCKAGE

Pub. No.:    WO/2017/141042    International Application No.:    PCT/GB2017/050414
Publication Date: Fri Aug 25 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Sat Feb 18 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 45/00
Applicants: ARM LTD
Inventors: REID, Kimberly Gay
SHIFREN, Lucian
Title: PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN ÉLÉMENT DE STOCKAGE
Abstract:
L'invention concerne un procédé de formation d'un film mince (302) comprenant un métal, un composé métallique ou un oxyde métallique sur un substrat, lequel procédé comprend la formation d'une ou plusieurs couches de film mince (303, 304, 305) d'un métal ou oxyde métallique par un processus de dépôt employant des précurseurs de réactifs et/ou des quantités relatives de ces derniers qui sont sélectionnés pour déposer une couche de film mince avec une quantité commandée de dopant dérivé d'au moins un précurseur de réactif.