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1. (WO2017140384) PROCÉDÉ D'EXAMEN DE LA QUALITÉ DE SÉPARATION DE GAZ D'UN PASSAGE DE SÉPARATION DE GAZ DANS UNE CHAMBRE À VIDE ET APPAREIL DE TRAITEMENT SOUS VIDE
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N° de publication :    WO/2017/140384    N° de la demande internationale :    PCT/EP2016/053606
Date de publication : 24.08.2017 Date de dépôt international : 19.02.2016
CIB :
C23C 14/56 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), C23C 16/54 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US).
BUSCHBECK, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (US only).
HENRICH, Jürgen [DE/DE]; (DE) (US only).
GEBELE, Thomas [DE/DE]; (DE) (US only)
Inventeurs : BUSCHBECK, Wolfgang; (DE).
HENRICH, Jürgen; (DE).
GEBELE, Thomas; (DE)
Mandataire : ZIMMERMANN & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB; Josephspitalstr. 15 80331 München (DE)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) METHOD OF EXAMINING A GAS SEPARATION QUALITY OF A GAS SEPARATION PASSAGE IN A VACUUM CHAMBER, AND VACUUM PROCESSING APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ D'EXAMEN DE LA QUALITÉ DE SÉPARATION DE GAZ D'UN PASSAGE DE SÉPARATION DE GAZ DANS UNE CHAMBRE À VIDE ET APPAREIL DE TRAITEMENT SOUS VIDE
Abrégé : front page image
(EN)According to one aspect of the present disclosure, a method of examining a gas separation quality of a gas separation passage (20) extending between a first vacuum processing region (10) and at least one second vacuum processing region (12) in a vacuum chamber (2) is provided, wherein the gas separation passage (20) is configured as a passageway for a substrate while reducing a gas flow from the first vacuum processing region (10) into the at least one second vacuum processing region (12). The method comprises: introducing a test gas (31) into the first vacuum processing region (10); and measuring a first content (33) of the test gas in a background gas in the at least one second vacuum processing region (12). According to a second aspect, a vacuum processing apparatus (1) and a vacuum deposition apparatus (100, 500) for performing the method are provided.
(FR)La présente invention concerne, selon un de ses aspects, un procédé d'examen d'une qualité de séparation de gaz d'un passage de séparation de gaz (20) s'étendant entre une première zone de traitement sous vide (10) et au moins une deuxième zone de traitement sous vide dans une chambre à vide (2), le passage de séparation de gaz (10) étant configuré sous la forme d'un passage pour un substrat tout en réduisant un flux de gaz depuis la première zone de traitement sous vide (10) vers la ou les deuxièmes zones de traitement sous vide (12). Le procédé comprend : l'introduction d'un gaz d'essai (31) dans la première zone de traitement sous vide (10) ; la mesure d'une première teneur (33) du gaz d'essai dans un gaz environnant dans la ou les deuxièmes zones de traitement sous vide (12). Selon un deuxième aspect, l'invention concerne un appareil de traitement sous vide (1) et un appareil de dépôt sous vide (100, 500) pour mettre en œuvre le procédé.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)