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1. (WO2017139495) MICRO-ENVIRONNEMENT POUR SUBSTRATS FLEXIBLES
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N° de publication : WO/2017/139495 N° de la demande internationale : PCT/US2017/017242
Date de publication : 17.08.2017 Date de dépôt international : 09.02.2017
CIB :
H01L 21/673 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
673
utilisant des supports spécialement adaptés
Déposants :
ENTEGRIS, INC. [US/US]; 129 Concord Road, Building 2 Billerica, MA 01821, US
Inventeurs :
SMITH, Mark, V.; US
GALLAGHER, Gary, M.; US
GREGERSON, Barry; US
FULLER, Matthew, A.; US
JOHNSON, Michael L.; US
Mandataire :
SZYMANSKI, Brian, E.; US
KISSOON, Nidhi, G.; US
PILLION, John, E.; US
GATES, Catherine, D.; US
Données relatives à la priorité :
62/293,24009.02.2016US
62/294,19411.02.2016US
Titre (EN) MICROENVIRONMENT FOR FLEXIBLE SUBSTRATES
(FR) MICRO-ENVIRONNEMENT POUR SUBSTRATS FLEXIBLES
Abrégé :
(EN) A substrate container (1100) includes a shell (1105) defining an opening and a door (1505) for selectively sealing the opening. A cantilevered support tray (1120) supports a substrate (1115) within the shell (1105). The support tray (1120) includes a support collar (1300) for coupling the support tray (1120) to a support post (1215) such that the support tray (1120) is cantilevered from the support post (1215).
(FR) L'invention concerne un contenant (1100) pour substrats qui comprend une enveloppe (1105) définissant une ouverture et une porte (1505) pour fermer sélectivement l'ouverture. Un plateau de support en porte-à-faux (1120) porte un substrat (1115) à l'intérieur de l'enveloppe (1105). Le plateau de support (1120) comprend un collier de support (1300) qui permet de coupler le plateau de support (1120) à un montant de support (1215) de façon que le plateau de support (1120) est en porte-à-faux par rapport au montant de support (1215).
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)