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1. (WO2017139490) CONTENEUR DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
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N° de publication :    WO/2017/139490    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/017228
Date de publication : 17.08.2017 Date de dépôt international : 09.02.2017
CIB :
H01L 21/673 (2006.01)
Déposants : ENTEGRIS, INC. [US/US]; 129 Concord Road, Building 2 Billerica, MA 01821 (US)
Inventeurs : JOHNSON, Michael, L.; (US).
GALLAGHER, Gary, M.; (US).
GREGERSON, Barry; (US)
Mandataire : GATES, Catherine, D.; (US).
SZYMANSKI, Brian, E.; (US).
KISSOON, Nidhi, G.; (US).
PILLION, John, E.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/293,240 09.02.2016 US
62/303,643 04.03.2016 US
Titre (EN) SUBSTRATE SHIPPER
(FR) CONTENEUR DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)A substrate container (100) includes a base (105) and a cover (115). The cover (115) mates with the base (105) to define an enclosure. A stack of interlocking trays (405) can be disposed within the base (105). Each interlocking tray (405) includes an inset flange (410) defining a registration face (420) for supporting a substrate. The interlocking tray (405) also includes a shoulder portion (415). A relief feature (435) is defined at the junction point between the shoulder portion (415) and the registration face (420). The relief feature (435) may prevent the sharp edges of the substrate from contacting the shoulder portion (415), thereby reducing particle generation.
(FR)La présente invention se rapporte à un conteneur de transport (100) de substrat qui comprend une base (105) et un couvercle (115). Le couvercle s'accouple à la base pour délimiter une enceinte. Une pile de plateaux de verrouillage (405) peut être disposée dans la base (105). Chaque plateau de verrouillage (405) comprend un rebord inséré (410) délimitant une face (420) d'enregistrement servant à supporter un substrat. Le plateau de verrouillage (405) comprend également une partie d'épaulement (415). Un élément (435) de décharge est délimité au point de jonction entre la partie épaulement (415) et la face d'enregistrement (420). L'élément (435) de décharge peut empêcher les bords tranchants du substrat d'entrer en contact avec la partie épaulement (415), réduisant ainsi la production de particules.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)