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1. (WO2017138987) COMPOSANT DE DISPOSITIF DE PULVÉRISATION À SURFACE MODIFIÉE ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION

Pub. No.:    WO/2017/138987    International Application No.:    PCT/US2016/054813
Publication Date: Fri Aug 18 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Sat Oct 01 01:59:59 CEST 2016
IPC: C23C 14/34
H01J 37/34
Applicants: HONEYWELL INTERNATIONAL INC.
Inventors: KIM, Jaeyeon
UNDERWOOD, Patrick K
STROTHERS, Susan D.
PAYTON, Michael D.
SAYLES, Scott R.
Title: COMPOSANT DE DISPOSITIF DE PULVÉRISATION À SURFACE MODIFIÉE ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION
Abstract:
L'invention concerne un ensemble cible de pulvérisation destiné à être utilisé dans un appareil de dépôt en phase vapeur, l'ensemble cible de pulvérisation comprenant une surface de pulvérisation ; une paroi latérale s'étendant de la surface de pulvérisation en formant un angle avec la surface de pulvérisation ; un piège à particules constitué d'une rugosité située le long de la paroi latérale et s'étendant radialement à partir de la surface de pulvérisation, la rugosité du piège à particules présentant une macrostructure et une microstructure.