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1. (WO2017138355) APPAREIL DE MEULAGE ET PROCÉDÉ DE MEULAGE
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N° de publication :    WO/2017/138355    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/002533
Date de publication : 17.08.2017 Date de dépôt international : 25.01.2017
CIB :
B24B 7/04 (2006.01), B24B 41/06 (2012.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventeurs : FUKUOKA, Tetsuo; (JP).
AKIMOTO, Masami; (JP).
KIYOTA, Kenji; (JP).
SAKAMOTO, Takahiro; (JP)
Mandataire : SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE; Toranomon Mitsui Building, 8-1, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000013 (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-022410 09.02.2016 JP
Titre (EN) GRINDING APPARATUS AND GRINDING METHOD
(FR) APPAREIL DE MEULAGE ET PROCÉDÉ DE MEULAGE
(JA) 研削装置および研削方法
Abrégé : front page image
(EN)According to an embodiment of the present invention, a grinding apparatus is provided with a stage, and a plurality of grinding heads. The stage holds a substrate. The grinding heads are selectively pressed to a substrate surface to be ground. Furthermore, each of the grinding heads has a grinding surface having an area that is smaller than that of the surface to be ground, and in the cases where the stage is viewed from the direction perpendicular to the stage, the grinding heads are disposed at positions overlapping the surface to be ground.
(FR)Un mode de réalisation de la présente invention concerne un appareil de meulage, lequel appareil comporte une platine, et une pluralité de têtes de meulage. La platine contient un substrat. Les têtes de meulage sont pressés de façon sélective sur une surface de substrat à meuler. En outre, chacune des têtes de meulage a une surface de meulage ayant une surface qui est inférieure à celle de la surface à meuler, et, dans les cas où la platine est vue à partir de la direction perpendiculaire à la platine, les têtes de meulage sont disposées en des positions chevauchant la surface à meuler.
(JA)実施形態に係る研削装置は、ステージと、複数の研削ヘッドとを備える。ステージは、基板を保持する。複数の研削ヘッドは、基板の被研削面に対して選択的に押し当てられる。また、複数の研削ヘッドは、被研削面よりも面積が小さい研削面を有し、かつ、ステージに対して垂直な方向からステージを見た場合に、いずれも被研削面と重複する位置に配置される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)