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1. (WO2017138308) BOUE ABRASIVE, ET ABRASIF
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N° de publication :    WO/2017/138308    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/001342
Date de publication : 17.08.2017 Date de dépôt international : 17.01.2017
CIB :
C09K 3/14 (2006.01), B24B 37/00 (2012.01), C09G 1/02 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : MITSUI MINING & SMELTING CO., LTD. [JP/JP]; 1-11-1 Osaki, Shinagawa-ku, Tokyo 1418584 (JP)
Inventeurs : MATSUYAMA, Masayuki; (JP).
KUMAGAI, Akinori; (JP)
Mandataire : SHOWA INTERNATIONAL PATENT FIRM; NIKKEN AKASAKA BLDG., 7F., 5-7, Akasaka 2-chome, Minato-Ku, Tokyo 1070052 (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-022997 09.02.2016 JP
Titre (EN) POLISHING SLURRY AND POLISHING MATERIAL
(FR) BOUE ABRASIVE, ET ABRASIF
(JA) 研摩スラリー及び研摩材
Abrégé : front page image
(EN)This polishing slurry contains abrasive grains formed of a metal oxide, a permanganate salt and an inorganic compound other than the permanganate salt. With respect to the inorganic compound, the redox potential of a solution that is obtained by adding the inorganic compound into a 1.0% by mass aqueous solution of the permanganate salt so that the inorganic compound accounts for 1.0% by mass of the aqueous solution of the permanganate salt is higher than the redox potential of the aqueous solution of the permanganate salt. It is preferable that the content of the inorganic compound is from 0.7 part by mass to 150 parts by mass (inclusive) relative to 100 parts by mass of the permanganate salt. It is also preferable that the abrasive grains formed of a metal oxide are manganese oxide particles.
(FR)La boue abrasive de l’invention comprend des grains abrasifs constitués d’un oxyde métallique, d’un permanganate, et d’un composé inorganique autre que le permanganate. Ledit composé inorganique présente un potentiel d’oxydation d’une solution obtenue par addition de ce composé inorganique dans une solution aqueuse de 1,0% en masse dudit permanganate de manière à représenter 1,0% en masse dans cette solution aqueuse de permanganate, supérieur au potentiel d’oxydation de cette solution aqueuse de permanganate. De préférence, la teneur en composé inorganique, est supérieure ou égale à 0,7 parties en masse et inférieure ou égale à 150 parties en masse, pour 100 parties en masse de permanganate. En outre, de préférence, les grains abrasifs constitués d’un oxyde métallique, consistent en un oxyde de manganèse.
(JA)本発明の研摩スラリーは、金属酸化物からなる砥粒と、過マンガン酸塩と、過マンガン酸塩以外の無機化合物とを含有し、前記無機化合物は、前記過マンガン酸塩の1.0質量%水溶液に該無機化合物を該過マンガン酸塩の水溶液において1.0質量%を占めるように添加して得られる溶液の酸化還元電位が該過マンガン酸塩水溶液の酸化還元電位よりも高いものである。前記無機化合物の含有量が、過マンガン酸塩100質量部に対して0.7質量部以上150質量部以下であることが好ましい。前記金属酸化物からなる砥粒が、酸化マンガン粒子であることも好ましい。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)