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1. (WO2017137181) MOTEUR LINÉAIRE POLYPHASÉ, MOTEUR PLAN POLYPHASÉ, PLATINE, APPAREIL DE LITHOGRAPHIE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF

Pub. No.:    WO/2017/137181    International Application No.:    PCT/EP2017/050199
Publication Date: Fri Aug 18 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Fri Jan 06 00:59:59 CET 2017
IPC: H02K 41/03
H02K 3/28
H02K 29/03
H02K 7/09
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: KIMMAN, Maarten, Hartger
BRAAKSMA, Dave
HEIJMANS, Peter, Michel, Silvester, Maria
HOOGENDAM, Christiaan, Alexander
Title: MOTEUR LINÉAIRE POLYPHASÉ, MOTEUR PLAN POLYPHASÉ, PLATINE, APPAREIL DE LITHOGRAPHIE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Abstract:
L'invention concerne un moteur électromagnétique, le moteur électromagnétique comprenant : un ensemble aimants configuré pour générer un champ magnétique alternatif bidimensionnel ayant un pas Pm1 dans une première direction et un pas Pm2 dans une seconde direction ; et un ensemble bobines configuré pour coopérer avec l'ensemble aimants afin de générer une première force dans la première direction et une seconde force dans la seconde direction, l'ensemble bobines comprenant un premier jeu de bobines comprenant une pluralité de premières bobines pour générer la première force et un second jeu de bobines comprenant une pluralité de secondes bobines pour générer la seconde force, un rapport R1 d'un pas entre bobines Pc1 dans le premier jeu de bobines dans la première direction sur Pm1 étant différent d'un rapport R2 d'un pas entre bobines Pc2 dans le second jeu de bobines dans la seconde direction sur Pm2.