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1. (WO2017137142) POLYMÈRE, COMPOSITION, FORMATION DE COUCHE SACRIFICIELLE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR AVEC CETTE COUCHE

Pub. No.:    WO/2017/137142    International Application No.:    PCT/EP2017/000058
Publication Date: Fri Aug 18 01:59:59 CEST 2017 International Filing Date: Fri Jan 20 00:59:59 CET 2017
IPC: C08G 61/02
C08G 61/12
C08G 8/02
C08G 10/00
C09D 161/00
C09D 165/00
G03F 7/11
G03F 7/26
G03F 7/09
H01L 21/027
Applicants: AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S.À.R.L.
Inventors: NAKASUGI, Shigemasa
HAMA, Yusuke
KUROSAWA., Kazunori
YANAGITA, Hiroshi
NOYA, Go
Title: POLYMÈRE, COMPOSITION, FORMATION DE COUCHE SACRIFICIELLE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR AVEC CETTE COUCHE
Abstract:
La présente invention concerne un polymère, une composition, la formation d'une couche sacrificielle et un procédé de production d'un dispositif semi-conducteur comprenant une étape au cours de laquelle un motif est réalisé à l'aide d'une résine photosensible par un procédé de photolithographie.