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1. WO2017123467 - SYSTÈMES ET MÉTHODES PERMETTANT UNE ELLIPSOMÉTRIE SPECTROSCOPIQUE INFRAROUGE ÉTENDUE

Numéro de publication WO/2017/123467
Date de publication 20.07.2017
N° de la demande internationale PCT/US2017/012502
Date du dépôt international 06.01.2017
CIB
H01L 21/66 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66Test ou mesure durant la fabrication ou le traitement
G03F 7/20 2006.01
GPHYSIQUE
03PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
FPRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20Exposition; Appareillages à cet effet
CPC
G01J 2003/4275
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
427Dual wavelengths spectrometry
4275Polarised dual wavelength spectrometry
G01J 3/0224
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
02Details
0205Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
0224using polarising or depolarising elements
G01J 3/18
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
12Generating the spectrum; Monochromators
18using diffraction elements, e.g. grating
G01J 3/2803
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
2803using photoelectric array detector
G01J 3/36
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
30Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
36Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
G01J 3/427
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
3Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
28Investigating the spectrum
42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
427Dual wavelengths spectrometry
Déposants
  • KLA-TENCOR CORPORATION [US]/[US]
Inventeurs
  • KRISHNAN, Shankar
  • WANG, David Y.
Mandataires
  • MCANDREWS, Kevin
  • MORRIS, Elizabeth M. N.
Données relatives à la priorité
15/336,70527.10.2016US
62/279,46915.01.2016US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SYSTEMS AND METHODS FOR EXTENDED INFRARED SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY
(FR) SYSTÈMES ET MÉTHODES PERMETTANT UNE ELLIPSOMÉTRIE SPECTROSCOPIQUE INFRAROUGE ÉTENDUE
Abrégé
(EN)
Methods and systems for performing simultaneous spectroscopic measurements of semiconductor structures at ultraviolet, visible, and infrared wavelengths are presented herein. In another aspect, wavelength errors are reduced by orienting the direction of wavelength dispersion on the detector surface perpendicular to the projection of the plane of incidence onto the detector surface. In another aspect, a broad range of infrared wavelengths are detected by a detector that includes multiple photosensitive areas having different sensitivity characteristics. Collected light is linearly dispersed across the surface of the detector according to wavelength. Each different photosensitive area is arranged on the detector to sense a different range of incident wavelengths. In this manner, a broad range of infrared wavelengths are detected with high signal to noise ratio by a single detector. These features enable high throughput measurements of high aspect ratio structures with high throughput, precision, and accuracy.
(FR)
La présente invention concerne des procédés et des systèmes permettant de réaliser des mesures spectroscopiques simultanées de structures semiconductrices à des longueurs d'ondes ultraviolettes, visibles et infrarouges. Selon un autre aspect, des erreurs de longueur d'onde sont réduites en orientant la direction de dispersion de longueur d'onde sur la surface du détecteur perpendiculaire à la projection du plan d'incidence sur la surface du détecteur. Selon un autre aspect, une large plage de longueurs d'onde infrarouges est détectée par un détecteur qui comprend de multiples zones photosensibles ayant différentes caractéristiques de sensibilité. La lumière collectée est dispersée de façon linéaire sur la surface du détecteur en fonction de la longueur d'onde. Chaque zone photosensible différente est disposée sur le détecteur pour détecter une autre plage de longueurs d'onde incidentes. De cette manière, une large plage de longueurs d'onde infrarouges est détectée avec un rapport signal/bruit élevé par un seul détecteur. Ces caractéristiques permettent des mesures à débit élevé de structures à rapport d'aspect élevé avec un débit, une précision et une exactitude élevés.
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