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1. (WO2017053240) PROCÉDÉ ET SYSTÈME POUR L’ATTÉNUATION DE BRUIT DANS UN SYSTÈME DE MICROSCOPIE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE MULTI-FAISCEAUX
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/053240    N° de la demande internationale :    PCT/US2016/052519
Date de publication : 30.03.2017 Date de dépôt international : 19.09.2016
CIB :
G02B 21/22 (2006.01), G02B 21/00 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventeurs : MCCORD, Mark A.; (US).
KNIPPELMEYER, Rainer; (US).
MASNAGHETTI, Douglas; (US).
SIMMONS, Richard R.; (US)
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; (US).
MORRIS, Elizabeth M. N.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/221,599 21.09.2015 US
15/267,223 16.09.2016 US
Titre (EN) METHOD AND SYSTEM FOR NOISE MITIGATION IN A MULTI-BEAM SCANNING ELECTRON MICROSCOPY SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME POUR L’ATTÉNUATION DE BRUIT DANS UN SYSTÈME DE MICROSCOPIE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE MULTI-FAISCEAUX
Abrégé : front page image
(EN)A scanning electron microscopy system is disclosed. The system includes a multi-beam scanning electron microscopy (SEM) sub-system. The SEM sub-system includes a multi-beam electron beam source configured to generate a plurality of electron beams, a sample stage configured to secure a sample, an electron-optical assembly, and a detector assembly configured to detect a plurality of electron signal beams emanating from the surface of the sample to form a plurality of images, each image associated with an electron beam of the plurality of electron beams. The system includes a controller configured to receive the images from the detector assembly, compare two or more of the images to identify common noise components present in the two or more images, and remove the identified common noise components from one or more images of the plurality of images.
(FR)La présente invention concerne un système de microscopie électronique à balayage. Le système comprend un sous-système de microscopie à balayage (MEB) multi-faisceaux. Le sous-système MEB comprend une source de faisceau d’électrons multi-faisceaux configuré pour générer une pluralité de faisceaux d’électrons, une platine d’échantillon configurée pour fixer un échantillon, un ensemble optique à électrons, et un ensemble de détecteur configuré pour détecter une pluralité de faisceaux de signaux d’électrons émanant de la surface de l’échantillon pour former une pluralité d’images, chaque image étant associée à un faisceau d’électrons de la pluralité de faisceaux d’électrons. Le système comprend un dispositif de commande configuré pour recevoir les images provenant l’ensemble de détecteur, comparer deux ou plus de deux des images pour identifier des composantes de bruit communes présentes dans les deux ou plus de deux images, et éliminer les composantes de bruit communes identifiées à partir d’une ou plusieurs images de la pluralité d’images.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)