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1. (WO2017050565) DISPOSITIF DE CORRECTION OPTIQUE, OBJECTIF DE PROJECTION COMPRENANT UN TEL DISPOSITIF DE CORRECTION OPTIQUE ET APPAREIL DE MICROLITHOGRAPHIE COMPRENANT UN TEL OBJECTIF DE PROJECTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/050565    N° de la demande internationale :    PCT/EP2016/070981
Date de publication : 30.03.2017 Date de dépôt international : 06.09.2016
CIB :
G02B 26/06 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), G02B 27/00 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventeurs : WALTER, Holger; (DE)
Mandataire : WITTE, WELLER & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB; Postfach 10 54 62 70047 Stuttgart (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2015 218 329.7 24.09.2015 DE
Titre (DE) OPTISCHE KORREKTURANORDNUNG, PROJEKTIONSOBJEKTIV MIT EINER SOLCHEN OPTISCHEN KORREKTURANORDNUNG SOWIE MIKROLITHOGRAFISCHE APPARATUR MIT EINEM SOLCHEN PROJEKTIONSOBJEKTIV
(EN) OPTICAL CORRECTION ASSEMBLY, PROJECTION OBJECTIVE COMPRISING SUCH AN OPTICAL CORRECTION ASSEMBLY, AND MICROLITHOGRAPHIC DEVICE COMPRISING SUCH A PROJECTION OBJECTIVE
(FR) DISPOSITIF DE CORRECTION OPTIQUE, OBJECTIF DE PROJECTION COMPRENANT UN TEL DISPOSITIF DE CORRECTION OPTIQUE ET APPAREIL DE MICROLITHOGRAPHIE COMPRENANT UN TEL OBJECTIF DE PROJECTION
Abrégé : front page image
(DE)Optische Korrekturanordnung, mit einer ersten und einer zweiten Korrekturkomponente (12, 13, 14), die entlang einer optischen Achse (16) hintereinander angeordnet sind, wobei die erste und die zweite Korrekturkomponente (12, 13, 14) mit asphärischen Oberflächenkonturen (18, 20) versehen sind, die sich in einer Nulllage der optischen Korrekturanordnung (10a, 10b, 10c) zumindest näherungsweise insgesamt zu null addieren, einem Manipulator zum Verfahren der ersten Korrekturkomponente (12) in einer ersten Richtung (22) mit einer ersten Geschwindigkeit und zum Verfahren der zweiten Korrekturkomponente (14) in einer zweiten Richtung (24) mit einer zweiten Geschwindigkeit, wobei die erste Geschwindigkeit höher als die zweite Geschwindigkeit ist.
(EN)The invention relates to an optical correction assembly comprising a first and a second correction component (12, 13, 14) which are arranged one behind the other along an optical axis (16). The first and the second correction component (12, 13, 14) are provided with aspherical surface contours (18, 20) which at least approximately add up to zero in a zero position of the optical correction assembly (10a, 10b, 10c). The optical correction assembly also comprises a manipulator for moving the first correction component (12) in a first direction (22) at a first speed and for moving the second correction component (14) in a second direction (24) at a second speed, the first speed being greater than the second speed.
(FR)L'invention concerne un dispositif de correction optique comprenant un premier et un deuxième élément de correction (12, 13, 14) qui sont disposés l’un derrière l’autre le long d’un axe optique (16), ce premier et ce deuxième élément de correction (12, 13, 14) étant pourvus de contours de surface asphériques (18, 20) qui s’annulent au moins sensiblement lorsque le dispositif de correction optique (10a, 10b, 10c) est en position zéro. Le dispositif de correction optique comprend par ailleurs un manipulateur pour déplacer le premier élément de correction (12) dans une première direction (22) à une première vitesse et pour déplacer le deuxième élément de correction (14) dans une deuxième direction (24) à une deuxième vitesse, la première vitesse étant supérieure à la deuxième.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)