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1. (WO2017050360) PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D’UN APPAREIL DE PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE ET SYSTÈMES D’ÉCLAIRAGE D’UN TEL APPAREIL
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/050360    N° de la demande internationale :    PCT/EP2015/071826
Date de publication : 30.03.2017 Date de dépôt international : 23.09.2015
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G02B 26/08 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventeurs : DEGÜNTHER, Markus; (DE).
EISENMENGER, Johannes; (DE).
HILT, Stefanie; (DE).
KORB, Thomas; (DE).
SCHLESENER, Frank; (DE).
MAUL, Manfred; (DE)
Mandataire : CARL ZEISS AG - PATENTABTEILUNG; Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen (DE)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) METHOD OF OPERATING A MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION APPARATUS AND ILLUMINATIONS SYSTEM OF SUCH AN APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D’UN APPAREIL DE PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE ET SYSTÈMES D’ÉCLAIRAGE D’UN TEL APPAREIL
Abrégé : front page image
(EN)According to a method of operating an illumination System of a microlithographic projection apparatus, a spatial light modulator (52) having a modulation surface (222) is provided which is formed by a plurality of micromirrors (56). Each micromirror comprises a mirror surface (224-1-1 to 224-4-9) having an orientation that can be changed individually for each micromirror. For at least one of the micromirrors, at least one parameter that is related to the mirror surface is measured. The orientation of the mirror surfaces is controlled depending on the at least one measured parameter. A light pattern is produced on the modulation surface (222), and an image of the light pattern is formed on an optical Integrator (60) that has a plurality of light entrance facets (75). Finally, images of the light entrance facets (75) are superimposed on a mask (16).
(FR)Selon un procédé de fonctionnement d’un système d’éclairage d’un appareil de projection microlithographique, un modulateur de lumière spatial (52) comportant une surface de modulation (222) est disposé, qui est formé d’une pluralité de micro-miroirs (56). Chaque micro-miroir comprend une surface de miroir (224-1-1 à 224-4-9) ayant une orientation qui peut être modifiée individuellement pour chaque micro-miroir. Pour au moins un des micro-miroirs, au moins un paramètre qui est lié à la surface du miroir est mesuré. L’orientation des surfaces de miroir est commandée suivant l’au moins un paramètre mesuré. Un motif de lumière est produit sur la surface de modulation (222), et une image du motif de lumière est formée sur un Intégrateur optique (60) qui comporte une pluralité de facettes d’entrée de lumière (75). Enfin, des images des facettes d’entrée de lumière (75) sont superposées sur un masque (16).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)