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1. (WO2017049876) DISPOSITIF DE REFROIDISSEMENT DE MASQUE MÉTALLIQUE ET DISPOSITIF D'ÉVAPORATION DE MASQUE MÉTALLIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2017/049876 N° de la demande internationale : PCT/CN2016/075136
Date de publication : 30.03.2017 Date de dépôt international : 01.03.2016
CIB :
C23C 14/04 (2006.01) ,C23C 14/24 (2006.01)
Déposants : BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD.[CN/CN]; No.10 Jiuxianqiao Rd. Chaoyang District Beijing 100015, CN
Inventeurs : CHIANG, Yuan-Ming; CN
Mandataire : CHINA SCIENCE PATENT & TRADEMARK AGENT LTD.; Suite 4-1105, No. 87, West 3rd Ring North Rd., Haidian District Beijing 100089, CN
Données relatives à la priorité :
201510612416.323.09.2015CN
Titre (EN) METAL MASK COOLING DEVICE AND METAL MASK EVAPORATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE REFROIDISSEMENT DE MASQUE MÉTALLIQUE ET DISPOSITIF D'ÉVAPORATION DE MASQUE MÉTALLIQUE
(ZH) 金属掩膜冷却装置及金属掩膜蒸镀装置
Abrégé : front page image
(EN) A metal mask cooling device comprises: a refrigerator (4), a power control unit (13), a power supply unit (14), and a magnetic plate (10). The refrigerator (4) is attached to a side surface of the substrate (3), and cools, by the substrate (3), the metal mask (11) attached to the other side surface of the substrate (3). The magnetic plate (10) is disposed on the refrigerator (4), so as to attach the refrigerator (4) and the metal mask (11) to the both side surfaces of the substrate (3) respectively. The power control unit (13) is connected with the refrigerator (4), so as to control the refrigeration temperature of the refrigerator (4). The power supply unit (14) is separately connected with the refrigerator (4) and the power control unit (13), so as to supply power to the refrigerator (4) and the power control unit (13). Also disclosed is a metal mask evaporation device.
(FR) L'invention concerne un dispositif de refroidissement de masque métallique comprenant : un réfrigérateur (4), une unité de commande de puissance (13), une unité d'alimentation électrique (14), et une plaque magnétique (10). Le réfrigérateur (4) est fixé à une surface latérale du substrat (3), et refroidit, par le substrat (3), le masque métallique (11) fixé à l'autre surface latérale du substrat (3). La plaque magnétique (10) est disposée sur le réfrigérateur (4) de manière à fixer le réfrigérateur (4) et le masque métallique (11) aux deux surfaces latérales du substrat (3), respectivement. L'unité de commande de puissance (13) est connectée au réfrigérateur (4) de manière à commander la température de réfrigération du réfrigérateur (4). L'unité d'alimentation électrique (14) est connectée séparément au réfrigérateur (4) et à l'unité de commande de puissance (13) de façon à alimenter en énergie le réfrigérateur (4) et l'unité de commande de puissance (13). L'invention concerne également un dispositif d'évaporation de masque métallique.
(ZH) 一种金属掩膜冷却装置,包括制冷器(4)、功率控制单元(13)、供电单元(14)及磁板(10);制冷器(4)贴合在基板(3)的一个侧面,且通过基板(3)对贴合在基板(3)另一个侧面的金属掩膜(11)进行冷却;磁板(10)设置在制冷器(4)上,以将制冷器(4)与金属掩膜(11)分别吸附在基板(3)的两个侧面;功率控制单元(13)与制冷器(4)连接,以控制制冷器(4)的制冷温度;供电单元(14)分别与制冷器(4)及功率控制单元(13)连接,以给制冷器(4)及功率控制单元(13)提供电源。还公开了一种金属掩膜蒸镀装置。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)