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1. (WO2017049671) MICRO-SYSTÈME D'EXPLOITATION BASÉ SUR UN MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/049671    N° de la demande internationale :    PCT/CN2015/091628
Date de publication : 30.03.2017 Date de dépôt international : 10.10.2015
CIB :
H01J 37/20 (2006.01), H01J 37/28 (2006.01)
Déposants : ZHANGJIAGANG INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGIES SOOCHOW UNIVERSITY [CN/CN]; 10#,Changjing Road Zhangjiagang Suzhou, Jiangsu 215600 (CN)
Inventeurs : ZHONG, Bowen; (CN).
YANG, Zhan; (CN).
QIAN, Zhe; (CN).
LI, Zongwei; (CN).
WANG, Zhenhua; (CN).
SUN, Lining; (CN)
Mandataire : CENTRAL SOUTH WELL INTELLECTUAL PROPERTY OFFICE; 2th,floor Room H216,Suzhou Nanotech National University Science Park, No.388, Ruoshui Road,Industrial Park Suzhou, Jiangsu 215123 (CN)
Données relatives à la priorité :
201510621517.7 25.09.2015 CN
Titre (EN) MICRO OPERATING SYSTEM BASED ON SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
(FR) MICRO-SYSTÈME D'EXPLOITATION BASÉ SUR UN MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
(ZH) 基于扫描电子显微镜的微操作系统
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a micro operating system (100) based on a scanning electron microscope, wherein the system is applied to a scanning electron microscope device. The micro operating system (100) based on a scanning electron microscope comprises a base (10); several three-axis linear motion platforms (20) and a five-axis macro-motion platform (30) arranged on the base (10); a sample operating platform (40) arranged on the five-axis macro-motion platform (30); and carbon nano manipulators (50) arranged corresponding to each of the three-axis linear motion platforms (20), wherein the carbon nano manipulators (50) are arranged on the three-axis linear motion platforms (20), and the several three-axis linear motion platforms (20) are arranged around the circumference of the sample operating platform (40) at the periphery of the sample operating platform (40). By means of the arrangement of the above-mentioned structure, the micro operating system (100) based on a scanning electron microscope achieves multi-axis linkage with respect to a sample, thereby solving the problem in the prior art that a sample can only be observed from a single aspect.
(FR)La présente invention concerne un micro-système d'exploitation (100) basé sur un microscope électronique à balayage, ledit système étant appliqué à un dispositif de type microscope électronique à balayage. Le micro-système d'exploitation (100) basé sur un microscope électronique à balayage comprend une base (10) ; de multiples plateformes de mouvement linéaire à trois axes (20) et une plateforme de macro-mouvement à cinq axes (30) placées sur la base (10) ; une plateforme d'exploitation d'échantillon (40) placée sur la plateforme de macro-mouvement à cinq axes (30) ; et des nanomanipulateurs en carbone (50) placés de manière à correspondre à chacune des plateformes de mouvement linéaire à trois axes (20), les nanomanipulateurs en carbone (50) étant placés sur les plateformes de mouvement linéaire à trois axes (20) et les plateformes de mouvement linéaire à trois axes (20) étant placées autour de la circonférence de la plateforme d'exploitation d’échantillon (40), au niveau de la périphérie de la plateforme d'exploitation d'échantillon (40). Grâce à l'agencement de la structure susmentionnée, le micro-système d'exploitation (100) basé sur un microscope électronique à balayage permet d'obtenir une liaison multi-axe par rapport à un échantillon, ce qui permet de résoudre le problème de l'état antérieur de la technique selon lequel un échantillon ne peut être observé que selon un seul aspect.
(ZH)一种基于扫描电子显微镜的微操作系统(100),应用于扫描电子显微镜设备。该基于扫描电子显微镜的微操作系统(100)包括基座(10)、设置在基座(10)上的若干三轴直线运动平台(20)和五轴宏动平台(30)、设置在五轴宏动平台(30)上的样品操作台(40)和对应每个三轴直线运动平台(20)设置的碳纳米操作手(50),碳纳米操作手(50)设置在三轴直线运动平台(20)上,若干三轴直线运动平台(20)沿样品操作台(40)的周向设置在样品操作台(40)的四周。该基于扫描电子显微镜的微操作系统(100)通过上述结构设置实现了对样件进行多轴联动,解决了现有技术中只能单一的对样件进行观察的问题。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)