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1. (WO2017047044) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM MINCE ET DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM MINCE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2017/047044    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/004063
Date de publication : 23.03.2017 Date de dépôt international : 06.09.2016
CIB :
C23C 14/54 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), C23C 16/455 (2006.01)
Déposants : TOPPAN PRINTING CO., LTD. [JP/JP]; 1-5-1, Taito, Taito-ku, Tokyo 1100016 (JP)
Inventeurs : KON, Masato; (--)
Mandataire : OGASAWARA PATENT OFFICE; Daido-Seimei Esaka Bldg., 13th Floor, 1-23-101, Esakacho, Suita-shi, Osaka 5640063 (JP)
Données relatives à la priorité :
2015-182854 16.09.2015 JP
Titre (EN) THIN FILM FORMING METHOD AND THIN FILM FORMING DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM MINCE ET DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM MINCE
(JA) 薄膜形成法及び薄膜形成装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided are a thin film forming method and a thin film forming device, whereby a thin film can be formed on a thin flexible base material, while suppressing generation of breakage and wrinkles during a time when the flexible base material is being transferred. According to one embodiment of the present invention, in a thin film forming method and a thin film forming device, a carrier film having an appropriate thickness is bonded to a film base material (flexible base material), and a film is formed, while transferring the film base material. The thin film forming method and the thin film forming device are characterized in that the carrier film is recovered and reused in the film forming device.
(FR)L'invention concerne un procédé de formation de film mince et un dispositif de formation de film mince, permettant de former un film mince sur un matériau de base mince et souple, tout en supprimant l'apparition d'une cassure et de rides au cours du transfert du matériau de base souple. Selon un mode de réalisation de la présente invention, dans un procédé de formation de film mince et un dispositif de formation de film mince, un film de support ayant une épaisseur appropriée est collé à un matériau de base de film (matériau de base souple) et un film est formé, pendant le transfert simultané du matériau de base de film. Le procédé de formation de film mince et le dispositif de formation de film mince sont caractérisés en ce que le film de support est récupéré et réutilisé dans le dispositif de formation de film.
(JA)薄いフレキシブル基材の搬送中に折れや皺が発生することを抑制しつつ、フレキシブル基材上に薄膜を形成できる薄膜形成法及び薄膜形成装置を提供する。一形態にかかる薄膜形成方法及び薄膜形成装置は、フィルム基材(フレキシブル基材)に相当の厚みを有するキャリアフィルムを貼り合わせて搬送しながら成膜する薄膜形成方法及び薄膜形成装置であって、該キャリアフィルムは成膜装置内で回収且つ再使用されることを特徴とする。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)